EVG101 勻膠機(jī) 勻噴膠機(jī) 光刻膠處理機(jī)

一、簡介

研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工。

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)在單室設(shè)計(jì)上可以滿足研發(fā)工作，與EVG的自動化系統(tǒng)*兼容。EVG101支持zui大300 mm的晶圓，可配置為旋涂或噴涂和顯影。使用EVG先進(jìn)的OmniSpray涂層技術(shù)，在3D結(jié)構(gòu)晶圓上實(shí)現(xiàn)光刻膠或聚合物的共形層，用于互連技術(shù)。這確保了高粘度光致光刻膠或聚合物的低材料消耗，同時(shí)改善了均勻性并防止了擴(kuò)散。

二、技術(shù)參數(shù)：

晶圓尺寸：高達(dá)300mm（12寸）

支持模式：旋涂/ OmniSpray®/生長

晶圓支撐模式：單臂/雙EE/邊緣/翻動

分配模式：

- 各種分配泵，可覆蓋高達(dá)52000cP的各種粘度

- 恒壓分配系統(tǒng)

- EBR / BSR /預(yù)濕/碗洗/液體灌注

三、特征：

晶圓尺寸可達(dá)300 mm

自動旋涂或噴涂或使用手動晶圓裝載/卸載進(jìn)行顯影

利用從研究到生產(chǎn)的快速簡便的過程轉(zhuǎn)換

成熟的模塊化設(shè)計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)化軟件

注射器分配系統(tǒng)，用于利用小的光刻膠體積，包括高粘度光刻膠

占地面積小，同時(shí)保持高水平的個(gè)人和過程安全性

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言）

選項(xiàng)：

- 采用OmniSpray®涂層技術(shù)均勻涂覆晶圓的高表面形貌

- 用于后續(xù)鍵合工藝的蠟和環(huán)氧樹脂涂層

- 旋涂玻璃（SOG）涂層