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03-21晶圓水平儀在自動化產(chǎn)線中的實時質(zhì)量控制
在半導體制造的自動化產(chǎn)線中,晶圓水平儀是確保晶圓表面平整度、提升工藝穩(wěn)定性的關鍵設備。它通過高精度傳感器與智能算法,實時測量晶圓表面起伏,并將數(shù)據(jù)反饋至制造設備,形成閉環(huán)質(zhì)量控制。晶圓水平儀的核心優(yōu)勢...2025
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