探針式表面輪廓儀介紹

布魯克表面輪廓儀（又稱“臺階儀”）歷今四十載，積累大量專有技術(shù)。從傳統(tǒng)的二維表面粗糙度和臺階高度測量，到更高級的三維表面成像和薄膜應(yīng)力測試，Dektak臺階儀適用面極廣，為用戶提供準(zhǔn)確性高，重復(fù)性佳的測量結(jié)果。

在教育、科研領(lǐng)域和半導(dǎo)體制程控制，Dektak廣泛用于膜厚、應(yīng)力、表面粗糙度和面形的測量。近幾年，Dektak系統(tǒng)已經(jīng)成為發(fā)展的太陽能電池市場越的測試工具，也被許多主要的光伏太陽能電池制造商所認可。

布魯克DektakXT®臺階儀設(shè)計創(chuàng)新，實現(xiàn)了更高的重復(fù)性和分辨率，垂直高度重復(fù)性高達4埃。這項測量性能的提高，達到了過去四十年Dektak®體系技術(shù)創(chuàng)新的，更加穩(wěn)固了其行業(yè)中的地位。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測量，在研究工作中的廣泛使用是的DektakXT地功能更強大，操作更簡便易行，檢測過程和數(shù)據(jù)采集也更加完善。技術(shù)的突破也實現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測量，從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件，半導(dǎo)體，電池，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域。

探針式表面輪廓儀黃金標(biāo)準(zhǔn)

DektakXT®探針式輪廓儀革命性的突破設(shè)計創(chuàng)新，實現(xiàn)了垂直高度重復(fù)性高達4埃，數(shù)據(jù)采集能力提高了40%。這一里程碑的創(chuàng)新和突破，使得DektakXT實現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測量，從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件，半導(dǎo)體，電池，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域。

技術(shù)創(chuàng)新四十余載，不斷突破用攀高峰。Dektak品牌是*基于微處理器控制的輪廓儀，*實現(xiàn)微米測量的臺階儀，*可以達到3D測量的儀器，*個人電腦控制的輪廓儀，*全自動300mm臺階儀?，F(xiàn)在，全新的DektakXT延續(xù)了這種開創(chuàng)性的風(fēng)格，成為一臺采用具有具有單拱龍門式設(shè)計，配備HD攝像機，并且利用64位同步數(shù)據(jù)處理模式完成測量和操作效率的臺階儀。

提高測量和數(shù)據(jù)分析速度

*采用*高速的直接驅(qū)動掃描樣品臺，DektakXT在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下，大大縮短了每次掃描的間隔時間，將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外，DektakXT采用布魯克具有64位數(shù)據(jù)采集同步分析的Vision64，可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度，并且可以加快數(shù)據(jù)濾波和多次掃描數(shù)據(jù)庫分析的速度。

提高操作的可重復(fù)性

使用單拱龍門結(jié)構(gòu)設(shè)計更堅硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。DektakXT會把系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測量誤差降到，能夠更穩(wěn)定可靠的掃描高度小于10nm的臺階，獲得其形貌特征。

完善的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

與DektakXT的創(chuàng)新性設(shè)計相得益彰的配置是布魯克Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上簡潔的用戶界面，具備智能板塊，可視化的使用流程，以及各種參數(shù)的自助設(shè)定以滿足用戶的各種使用要求，快速簡便的實現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。

簡便易行的實驗操作系統(tǒng)

DektakXT新穎的探針的部件自動對準(zhǔn)裝置，可以盡量避免用戶在裝針的過程中出現(xiàn)針尖損傷等意外。為盡可能滿足所有應(yīng)用的需求，布魯克提供各種尺寸的標(biāo)準(zhǔn)探針和特制探針。

高效率的保證

DektakXT的測量重復(fù)性為工程師們提供準(zhǔn)確的薄膜厚度和應(yīng)力測量，使其可以調(diào)節(jié)刻蝕和鍍膜工藝來提高產(chǎn)品的優(yōu)良率。

DektakXT儀器性能和優(yōu)于4埃（<4?）的測量重復(fù)性  

單拱龍門式設(shè)計實現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性  

先進的”智能化電子器件”實現(xiàn)了低噪聲的新*  

高效率且易于使用  

直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程  

傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和較大的力測量  

自對準(zhǔn)的探針設(shè)計使用戶可以輕而易舉地更換探針  

探針式輪廓儀的性能，物超所值，完備的零配件為您優(yōu)化或延伸機臺的多種應(yīng)用提供保障。過去四十多年間，布魯克的臺階儀研制和生產(chǎn)一直在理論和實踐上不斷實現(xiàn)創(chuàng)新性成果——*基于微處理器控制的輪廓儀，*實現(xiàn)微米測量的臺階儀，*可以達到3D測量的儀器，*個人電腦控制的輪廓儀，*全自動300mm臺階儀——DektakXT延續(xù)了這種開創(chuàng)性的風(fēng)格，全新的DektakXT成為世界上臺采用具有單拱龍門式設(shè)計，配備D攝像機，并且利用64位同步數(shù)據(jù)處理模式完成測量和操作效率的臺階儀。  

應(yīng)用

在半導(dǎo)體制造中，嚴(yán)密監(jiān)控沉積和蝕刻速率的均勻性以及薄膜應(yīng)力可以節(jié)省寶貴的時間和金錢。薄膜層的不均勻或應(yīng)力過大，會導(dǎo)致良率下降和終產(chǎn)品性能下降。DektakXT提供了快速，輕松地設(shè)置和運行自動多站點測量程序的能力，以驗證整個晶圓表面的薄膜厚度，直至納米級。DektakXT的的可重復(fù)性為工程師提供了準(zhǔn)確的膜厚和應(yīng)力測量值，以調(diào)整蝕刻和沉積過程以提高產(chǎn)量。  

太陽痕量分析-降低制造成本  

在太陽能市場上，Dektak已成為測量銀跡線（街道）的臨界尺寸的解決方案，銀跡線（街道）是單晶和多晶太陽能板上的導(dǎo)線。銀跡線的高度，寬度和連續(xù)性與太陽能電池的導(dǎo)電能力有關(guān)。理想的生產(chǎn)狀態(tài)是施加足夠的銀漿以獲得的導(dǎo)電性，同時又不浪費昂貴的銀。DektakXT采用痕量分析程序，可報告街道的關(guān)鍵尺寸，以驗證是否存在足夠的導(dǎo)電材料。Vision64中的數(shù)據(jù)分析器配方和自動化功能在自動化此驗證過程中具有影響力。  

Dektak是的測針輪廓儀，可測量具有埃級重復(fù)性的敏感材料（高達1mm高）的大型垂直特征。MEMS和微流體行業(yè)的研究人員可以依靠DektakXT進行關(guān)鍵測量，以驗證其零件是否符合規(guī)格。低力測量功能NLite+對敏感材料輕觸即可準(zhǔn)確測量垂直臺階和粗糙度，而不會損壞樣品表面。  

表面粗糙度驗證-確保性能  

DektakXT非常適合常規(guī)驗證精密加工零件的表面粗糙度，適用于各種行業(yè)，包括汽車，航空航天和醫(yī)療設(shè)備。例如，整形外科植入物背面的羥基磷灰石涂層的粗糙度會影響其一旦植入后的粘合性能和功效。使用DektakXT對粗糙表面進行快速分析，可以確認是否已達到所需的晶體生長以及植入物是否可以通過生產(chǎn)要求。使用具有通過/失敗標(biāo)準(zhǔn)的Vision64數(shù)據(jù)庫，質(zhì)量保證人員可以輕松地識別要返工的植入物或驗證植入物的質(zhì)量。