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MFC-E系列質量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內*的微機電（MEMS）流量傳感器芯片技術，結合高速采樣處理技術和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有進口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩(wěn)定性好等特點。操作使用方便，可任意位置安裝，廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數(shù)字通信方式。

產(chǎn)品應用

• 半導體加工

• 分析和環(huán)保

• 燃燒控制器                      

• 真空技術

• 表面處理                      

• 食品和制藥

• 化工（石化）等過程控制