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SENpro是具成本效益的光譜橢偏儀，同時(shí)不影響先進(jìn)測(cè)量性能。

可變?nèi)肷浣?/strong>

光譜橢偏儀SENpro包括可變?nèi)肷浣堑慕嵌扔?jì)，40°—90°，步進(jìn)值5°，用于優(yōu)化橢偏測(cè)量。

步進(jìn)掃描分析器

SENpro具有步進(jìn)掃描分析器。在數(shù)據(jù)采集過(guò)程中，偏振器和補(bǔ)償器固定，以提供高的橢偏測(cè)量精度。

光譜橢偏儀SENpro具有操作簡(jiǎn)單，測(cè)量速度快，能對(duì)不同入射角的橢偏測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行組合分析等特點(diǎn)。光譜范圍為370到1050 nm。SENpro的光譜范圍與精密的SpectraRay/4軟件相結(jié)合，可以輕易地確定單層膜和復(fù)合層疊膜的厚度和折射率。

具有成本效益的桌面式SENpro包括可見光到近紅外橢偏儀光學(xué)，5°步進(jìn)角度計(jì)，樣品臺(tái)、激光準(zhǔn)直器、光纖耦合穩(wěn)定光源和探測(cè)器單元。SENpro配備了用于系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析的光譜橢偏儀軟件SpectraRay/4 ，用于包括建模，擬合和報(bào)告輸出。即使對(duì)于初學(xué)者，該程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持計(jì)算機(jī)控制的用于均勻性測(cè)量的自動(dòng)掃描。

SENpro專注于薄膜測(cè)量的速度和精度，不管是何種薄膜應(yīng)用。測(cè)量范圍從1 nm的薄層膜到15 μm的厚層膜。

對(duì)于各種各樣的應(yīng)用，SpectraRay/4都提供了預(yù)定義的配方。