氣氛型高溫探針臺

功能描述：

快速實(shí)現(xiàn)室溫-200℃環(huán)境的控溫，可在真空環(huán)境下對樣品進(jìn)行光學(xué)，電學(xué)測試，測試中也可實(shí)現(xiàn)惰性氣體的快速充放。根據(jù)樣品材料，形狀不同可選擇探針，插拔等多種安裝測試方式。

氣氛型高溫探針臺   快速實(shí)現(xiàn)室溫-200℃環(huán)境的控溫，可在真空環(huán)境下對樣品進(jìn)行光學(xué)，電學(xué)測試，測試中也可實(shí)現(xiàn)惰性氣體的快速充放。根據(jù)樣品材料，形狀不同可選擇探針，插拔等多種安裝測試方式。氣氛型高溫探針臺 半導(dǎo)體行業(yè)晶圓測試

氣氛型高溫腔參數(shù)：

①　溫度范圍：室溫-200℃；

②　標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計；

③　控溫精度：±0.1k；

④　真空度：10E-3Pa；

⑤　提供真空抽口*1、氣體入口*1、氣體出口*1、真空釋放口*1；

⑥　匹配觀察窗，插拔樣品卡，探針卡，鱷魚夾。

氣氛型高溫探針臺 半導(dǎo)體行業(yè)晶圓測試

注：產(chǎn)品為定制，不同規(guī)格價位不同，實(shí)際價格以溝通為準(zhǔn)！