CY-MS500S-2TA1S 高真空多弧離子鍍膜儀
參考價 | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-MS500S-2TA1S
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/12/18 15:26:20
- 訪問次數(shù) 55
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
簡單介紹:
高真空多弧離子鍍膜儀制備多元非晶合金,制備金屬化合物,如氧化物和氮化物薄膜(氧氣或氮氣氛圍),制備納米顆粒催化劑膜,用熱電材料靶材制備熱電效應(yīng)薄膜。
詳情介紹:
高真空多弧離子鍍膜儀利用電弧放電將導(dǎo)電材料離子化,利用其繞射性好的優(yōu)勢,產(chǎn)生高能離子并沉積在基底上(特別是泡沫鎳等多孔基底),制備納米級薄膜鍍層或納米顆粒。主要由鍍膜室、多弧靶、多弧電源、脈沖偏壓電源、樣品臺、加熱、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏半自動控制系統(tǒng)等組成;該設(shè)備主機與控制一體化設(shè)計,操控方便;結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小。該系列設(shè)備廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的教學(xué)、科研實驗以及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實驗及開發(fā)新產(chǎn)品等,深受廣大用戶好評。
主要用途:
制備多元非晶合金,制備金屬化合物,如氧化物和氮化物薄膜(氧氣或氮氣氛圍),制備納米顆粒催化劑膜,用熱電材料靶材制備熱電效應(yīng)薄膜。
技術(shù)參數(shù):
1.真空腔室 | Ф500×H420mm,304 上等不銹鋼,前開門結(jié)構(gòu); 腔室加熱溫度:室溫~350±1℃; |
2.真空系統(tǒng) | 復(fù)合分子泵+直聯(lián)旋片泵+高真空閥門組合的高真空系統(tǒng),數(shù)顯復(fù)合真空計; |
| 優(yōu)于 6.0×10-5Pa(空載,經(jīng)烘烤除氣后); |
4.漏率 | 設(shè)備升壓率≤0.8Pa/h; 設(shè)備保壓:停泵 12 小時候后,真空≤10Pa; |
5.抽速 | (空載)從大氣抽至 5.0×10-3Pa≤15min; |
6.基片臺尺寸 | Φ150mm,自轉(zhuǎn)工位 3 個; |
7.基片臺旋轉(zhuǎn) | 基片旋轉(zhuǎn):0~20 轉(zhuǎn)/分鐘; |
8.濺射靶 | DN100 新型磁過濾多弧靶 2 套 |
9.脈沖偏壓電源 | -1000V,1 套; |
11.控制方式 | PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統(tǒng); |
12.報警及保護(hù) | 對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施;完善 的邏輯程序互鎖保護(hù)系統(tǒng); |
13.占地 | (主機)L1900×W800×H1900(mm)。 |