手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
蒸發(fā)鍍膜儀是制備集成電路的關(guān)鍵設(shè)備之一
在半導(dǎo)體制造中，蒸發(fā)鍍膜儀可用于沉積金屬電極、絕緣層等薄膜，是制備集成電路的關(guān)鍵設(shè)備之一。例如，通過蒸發(fā)鋁等金屬，可以在硅片上形成導(dǎo)電的電極，實(shí)現(xiàn)電子元件之間的連接。在電子元器件的生產(chǎn)中，如電容器、電感器等，也常常利用蒸發(fā)鍍膜技術(shù)來制備薄膜介質(zhì)或?qū)щ妼?，以提高器件的性能和可靠性?br />
用于制造光學(xué)鏡片的增透膜、反射膜等。通過蒸發(fā)特定的材料，如氟化鎂、銀等，可以在光學(xué)鏡片表面形成一層厚度均勻、光學(xué)性能優(yōu)良的薄膜，減少光線的反射損失，提高鏡片的透光率或反射率。在激光技術(shù)中，可用于制備激光鏡片的防護(hù)膜、反射鏡等，滿足激光系統(tǒng)對光學(xué)元件的高要求。
蒸發(fā)鍍膜儀的組成：
1.真空腔體：這是蒸發(fā)鍍膜儀的主體部分，用于提供一個(gè)密閉的高真空環(huán)境。腔體的設(shè)計(jì)通?？紤]到易于操作和維護(hù)，如采用前開門式結(jié)構(gòu)，方便取放基片、更換蒸發(fā)源以及進(jìn)行日常的清潔和保養(yǎng)。腔體的大小和形狀會(huì)根據(jù)不同的應(yīng)用需求有所差異，可以容納較大尺寸的基底，滿足大規(guī)模生產(chǎn)或特殊實(shí)驗(yàn)的要求。
2.真空系統(tǒng)：由真空泵、真空閥門、真空管道等組成，負(fù)責(zé)將腔體內(nèi)的氣體抽出，以達(dá)到所需的真空度。常見的真空泵包括機(jī)械泵、分子泵等。機(jī)械泵主要用于粗抽，能夠快速將腔體內(nèi)的大部分氣體抽出，而分子泵則用于進(jìn)一步提高真空度，其工作原理是基于高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將氣體分子吸附并排出，從而獲得真空度。
3.蒸發(fā)源：是蒸發(fā)材料加熱蒸發(fā)的關(guān)鍵部件，根據(jù)加熱方式的不同，有各種不同的類型。如電阻加熱源中的鎢舟、鉬舟等，它們能夠承受高溫，且與蒸發(fā)材料有良好的熱接觸，確保材料均勻受熱蒸發(fā)。電子束蒸發(fā)源則相對復(fù)雜，它通過電子槍產(chǎn)生高能電子束，聚焦在蒸發(fā)材料上，使其迅速熔化并蒸發(fā)。
4.基底支架與樣品臺(tái)：用于固定基底，使其處于合適的位置以接收蒸發(fā)材料形成的薄膜。樣品臺(tái)通?？梢赃M(jìn)行旋轉(zhuǎn)、傾斜等運(yùn)動(dòng)，這樣可以保證薄膜在基底表面的均勻性。在有些蒸發(fā)鍍膜儀中，樣品臺(tái)還能夠?qū)崿F(xiàn)多工位切換，提高鍍膜效率。
5.控制系統(tǒng)：負(fù)責(zé)對整個(gè)鍍膜過程進(jìn)行準(zhǔn)確的控制和調(diào)節(jié)。它可以設(shè)定蒸發(fā)溫度、蒸發(fā)時(shí)間、真空度等參數(shù)，并根據(jù)預(yù)設(shè)的程序自動(dòng)運(yùn)行。同時(shí)，控制系統(tǒng)還能實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備的各項(xiàng)狀態(tài)，如真空度、溫度等，一旦出現(xiàn)異常情況，能夠及時(shí)發(fā)出警報(bào)并采取相應(yīng)的保護(hù)措施。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心