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鈣鈦礦鍍膜設備

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      江蘇雷博科學儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以 高檔專業(yè)的實驗室儀器開發(fā)為目標的海歸創(chuàng)業(yè)企業(yè)。公司主營高檔實驗室儀器及半導體設備開發(fā)業(yè)務。公司技術 力量雄厚,人才濟濟,憑借雄厚的技術實力不斷進行新產(chǎn)品開發(fā)和創(chuàng)新實現(xiàn), 在納米薄膜制備類儀器領域取得了顯著的市場地位。公司生產(chǎn)的高精度高可 靠性勻膠機榮獲江蘇省高新技術產(chǎn)品,是國內(nèi)勻膠機全系列、多功能、定制 化服務的供應商

      公司生產(chǎn)和銷售不同領域的高檔科研儀器和工業(yè)半導體設備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設備品牌,主要有勻膠機、顯影機、 烤膠機、提拉機、噴膠機、涂膜機、狹縫涂布機等相關產(chǎn)品;L EB O science®是我們的工業(yè)半導體設備品牌,主要有勻膠機、顯影機、蝕刻機、 去膠機、清洗機等獨立柜式機臺及工業(yè)全自動機臺。 公司產(chǎn)品被廣泛應用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽能、有機光 電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導體及先進封裝等領域,具有核心技 術可靠、高性價比、定制化服務的競爭優(yōu)勢。

 

勻膠機、顯影機、烤膠機、刻蝕機、清洗機

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 5萬-10萬
應用領域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合
鈣鈦礦鍍膜設備主要由有機/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、蒸發(fā)源、樣品加熱控溫、電控系統(tǒng)、配氣系統(tǒng)等部分組成。適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作,廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域。
 

 

  功能特點
  • 樣品位于真空室上方,蒸發(fā)源位于真空室下方,向上蒸發(fā)鍍膜,且蒸發(fā)源帶有擋板裝置。
  • 設有烘烤加熱功能,可在鍍膜過程中加熱樣品,最高烘烤加熱溫度為180℃。
  • 設有斷水、斷電連鎖保護報警裝置及防誤操作保護報警裝置。
  技術參數(shù)
鍍膜室 不銹鋼材料,采用方形前后開門結構,內(nèi)帶有防污板,腔室尺寸約為600mm×450mm×450mm
真空排氣系統(tǒng) 采用分子泵+機械泵系統(tǒng)
真空度 鍍膜室極限真空≤6×10-4Pa
系統(tǒng)漏率 ≤1×10-7Pa
蒸發(fā)源 安裝在真空室的下底上;有機蒸發(fā)源4個、容積5ml,2臺蒸發(fā)電源,可測溫、控溫,加熱溫度400℃,功率0.5KW;無機蒸發(fā)源4套、容積5ml,2臺蒸發(fā)電源,加熱電流300A,功率3.2KW;蒸發(fā)源擋板采用自動磁力控制方式控制其開啟
樣品架 安裝在真空室的上蓋上,可放置Ø120mm的樣品、載玻片,旋轉速度0-30rpm
加熱溫度 RT-180℃,測溫、控溫
膜厚控制儀 石英晶振膜厚控制儀,膜厚測量范圍0-999999Å


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