D500 探針式輪廓儀 D-600
| 參考價 | ￥350000-￥10000000 |
- 公司名稱 深圳市今浩儀器設(shè)備有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號D500
- 所在地成都市
- 廠商性質(zhì)代理商
- 更新時間2023/4/14 14:10:01
- 訪問次數(shù) 365
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,電子/電池,道路/軌道/船舶,綜合 |
產(chǎn)品描述
探針式輪廓儀 D-600 支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量，以及翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
主要功能
臺階高度：幾納米至1200μm
低觸力：0.03至15mg
視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
緊湊尺寸：最小占地面積的臺式探針式輪廓儀
軟件：用戶友好的軟件界面
主要應(yīng)用
臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度
紋理：2D粗糙度和波紋度
形式：2D翹曲和形狀
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
工業(yè)應(yīng)用
大學(xué)，研究實驗室和研究所
半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
SIMS：二次離子質(zhì)譜
LED：發(fā)光二極管
太陽能
MEMS：微電子機械系統(tǒng)
汽車
醫(yī)療設(shè)備
還有更多：請與我們聯(lián)系并探討您的要求
應(yīng)用
臺階高度
探針式輪廓儀 D-600 能夠測量從幾個納米到1200μm的2D和3D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能，可以測量如光刻膠的軟性材料。.
紋理：粗糙度和波紋度
Alpha-Step D-600測量2D和3D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。
形式：翹曲和形狀
Alpha-Step D-600可以測量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對晶圓翹曲的測量，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
Alpha-Step D-600能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力。
采購中心
化工儀器網(wǎng)