KLA的D系列探針式臺階儀Alpha-Step D-600，可測量納米至1200um臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及亞埃的分辨率。

   二、 功能

  設(shè)備特點

   臺階高度：幾納米至1200μm

   低觸力：0.03至15mg

   視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

   梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

   圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

   緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀

   軟件：用戶友好的軟件界面

   主要應(yīng)用

   臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度

   紋理：2D粗糙度和波紋度

   形式：2D翹曲和形狀

   應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

    應(yīng)用域

   大學(xué)，研究實驗室和研究所

   半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

   SIMS：二次離子質(zhì)譜

   LED：發(fā)光二管

   太陽能

   MEMS：微電子機械系統(tǒng)

   汽車

   醫(yī)療設(shè)備

   三、應(yīng)用

   臺階高度

  Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1200μm的2D和3D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。Alpha-Step 系列具有低觸力功能，可以測量如光刻膠的軟性材料。

   紋理：粗糙度和波紋度

   D系列探針式臺階儀Alpha-Step D-600測量2D和3D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。

   外形：翹曲和形狀

  Alpha-Step D-600可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。