磁控濺射與蒸發(fā)鍍膜2
- 公司名稱(chēng) 沈陽(yáng)美濟(jì)真空科技有限公司-J
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2019/5/25 15:21:26
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空機(jī)械加工廠,有數(shù)控車(chē)床,數(shù)控剪板機(jī),數(shù)控折彎?rùn)C(jī),氬弧焊機(jī),其它如超高真空檢漏儀、超聲波清洗機(jī)等
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過(guò)程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過(guò)程,和靶原子碰撞,把部分動(dòng)量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級(jí)聯(lián)過(guò)程。在這種級(jí)聯(lián)過(guò)程中某些表面附近的靶原子獲得向外運(yùn)動(dòng)的足夠動(dòng)量,離開(kāi)靶被濺射出來(lái)。
磁控濺射設(shè)備性能參數(shù):
1、磁控濺射與蒸發(fā)鍍膜2 極限真空:2×10-6Pa。可鍍大直徑4英寸基片一片?;謴?fù)真空:從大氣到7×10-4Pa ≦30min(新平臺(tái)充干燥氮?dú)猓F脚_(tái)總體漏率:關(guān)機(jī)12小時(shí)真空度≤1Pa。
分子束外延設(shè)備性能參數(shù):
1、磁控濺射與蒸發(fā)鍍膜2 極限真空:5×10-7Pa。(配400L/S離子泵及2000L/S升華泵后極限真空可達(dá)2×10-8Pa)可鍍大直徑4英寸基片一片?;謴?fù)真空:從大氣到7×10-4Pa ≦40min(新設(shè)備充干燥氮?dú)猓O(shè)備總體漏率:關(guān)機(jī)12小時(shí)真空度≤0.2Pa。