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山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍的工作原理和產(chǎn)品特性

來(lái)源:玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司   2025年05月29日 16:31  

山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備 A-52-STD:高效雙面電鍍解決方案

一、工作原理

山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備 A-52-STD 是一種先進(jìn)的電鍍?cè)O(shè)備,專(zhuān)為晶圓的雙面同時(shí)電鍍?cè)O(shè)計(jì)。設(shè)備采用的槳式攪拌器,通過(guò)攪拌晶圓的兩面,確保電鍍?nèi)芤壕鶆蚍植迹瑢?shí)現(xiàn)高效的雙面電鍍。其工作原理基于電化學(xué)反應(yīng),在電鍍槽中,晶圓作為陰極,與陽(yáng)極支架配合,通過(guò)電鍍電源提供穩(wěn)定的電流,促進(jìn)金屬離子在晶圓表面沉積。同時(shí),設(shè)備配備加熱器和氣泵,可精確控制電鍍過(guò)程中的溫度和溶液流動(dòng),確保電鍍質(zhì)量。

二、技術(shù)參數(shù)

  • 型號(hào):A-52-STD
  • 適用樣品尺寸:直徑 2 至 8 英寸或 50 至 200 毫米見(jiàn)方的方形樣品
  • 電鍍方式:雙面同時(shí)電鍍
  • 攪拌方式:?jiǎn)螛綌嚢杵?/div>
  • 加熱器:AC100V,功率可選 100W、300W 或 500W
  • 電源:晶圓精密電鍍電源(YPP15031WA/15100WA)
  • 氣泵:適用于 M202/10L 水箱
  • 過(guò)濾器:迷你迷你過(guò)濾器(20APFA/40APFA)
  • 標(biāo)配附件:晶圓雙面電鍍槽、雙面電鍍用陰極盒(標(biāo)準(zhǔn)型/密封型/吸力封閉型)、陽(yáng)極支架、加熱器、電源、氣泵、槳式攪拌器、過(guò)濾器、引線(xiàn)、空氣過(guò)濾器等

三、產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 高效雙面電鍍:設(shè)備采用單槳式攪拌器,能夠同時(shí)對(duì)晶圓的兩個(gè)表面進(jìn)行電鍍,顯著提高電鍍效率,減少加工時(shí)間。
  • 高精度控制:配備高精度的電鍍電源和溫度控制系統(tǒng),能夠精確調(diào)節(jié)電鍍電流和溶液溫度,確保電鍍層的均勻性和厚度一致性。
  • 多樣化樣品適應(yīng)性:適用于直徑 2 至 8 英寸的圓形晶圓以及 50 至 200 毫米見(jiàn)方的方形樣品,滿(mǎn)足不同尺寸和形狀的電鍍需求。
  • 靈活的定制選項(xiàng):可根據(jù)客戶(hù)的具體需求定制夾具和電鍍槽的形狀,提供個(gè)性化的解決方案。
  • 符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn):設(shè)備設(shè)計(jì)符合 CE 標(biāo)志要求,確保安全性和可靠性
  • 環(huán)保設(shè)計(jì):使用帶溫度保險(xiǎn)絲的加熱器,增強(qiáng)保護(hù)功能,減少能耗

四、應(yīng)用場(chǎng)景

山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、MEMS、SiC、玻璃、GaAs、InP 等材料的精密電鍍。在半導(dǎo)體制造中,用于 TSV(硅通孔)和 TSG(通孔玻璃)等先進(jìn)封裝技術(shù)的電鍍工藝。此外,設(shè)備還可用于科研實(shí)驗(yàn)和工業(yè)生產(chǎn)中的各種電鍍需求,如金屬沉積、表面處理和材料改性等

五、總結(jié)

山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備 A-52-STD 憑借其高效雙面電鍍能力、高精度控制和靈活的定制選項(xiàng),為晶圓電鍍提供了一種理想解決方案。其廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和的性能使其成為半導(dǎo)體制造和科研實(shí)驗(yàn)中的重要設(shè)備


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