菲希爾X射線測厚儀FISCHER XDL230

一、核心測量技術(shù)

1. 測量原理：運(yùn)用 X 射線熒光光譜法，實(shí)現(xiàn)對鍍層厚度的精準(zhǔn)測量。

2. 測量方式：無損檢測，具備自動(dòng)聚焦功能，保障樣品完整性與測量準(zhǔn)確性。

3. 元素測量范圍：涵蓋 Cl（17） - U（92），最多可同時(shí)測量 24 種元素、23 層鍍層。

二、硬件性能參數(shù)

1. 手動(dòng) X/Y 平臺：移動(dòng)范圍≥95x150mm，可用工作臺面≥420x450mm，滿足多樣品放置與測量需求。

2. 電動(dòng) Z 軸：支持手動(dòng) / 自動(dòng)聚焦，移動(dòng)范圍≥140mm，適配不同高度樣品。

3. DCM 技術(shù)：采用測量距離補(bǔ)償法（DCM），可實(shí)現(xiàn) 80mm 深度的腔體樣品遠(yuǎn)距離對焦測量 。

4. 高壓調(diào)節(jié)：可變高壓支持 30KV、40KV、50KV 三檔調(diào)節(jié)，靈活應(yīng)對不同測試場景。

5. 準(zhǔn)直器：配備 φ0.3 的圓形準(zhǔn)直器，提升測量精度。

6. X 射線探測器：采用比例接收器，確保信號穩(wěn)定接收。

7. 攝像頭：高分辨率 CCD 攝像頭，放大倍數(shù) 40 - 160 倍，便于樣品觀察定位。

三、軟件與數(shù)據(jù)處理

1. 操作系統(tǒng)與軟件：基于 Windows 7 以上中文操作界面，搭載 WinFTM 專業(yè)測試軟件，配備連接 PC 和打印機(jī)的 USB 接口。

2. 統(tǒng)計(jì)計(jì)算功能：數(shù)據(jù)組集成時(shí)間和日期功能，具備平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、最大值、最小值等統(tǒng)計(jì)計(jì)算；支持公差范圍輸入，可計(jì)算 CP 和 Cpk 值，超范圍自動(dòng)報(bào)警提示。

3. 校準(zhǔn)與判定：采用基本參數(shù)法，內(nèi)置 12 純元素頻譜庫，實(shí)現(xiàn)無標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)測量；具備 MQ 值顯示，用于判斷測量程式與樣品匹配度，防止誤操作。

四、標(biāo)準(zhǔn)配置與合規(guī)性

1. 標(biāo)準(zhǔn)片：配備 12 種基準(zhǔn)純元素（Ag, Cu, Fe, Ni, Zn, Zr, Mo, Sn, W, Au, Pb, Cr）標(biāo)準(zhǔn)片。

2. 輻射安全：持有環(huán)保部門出具的輻射豁免管理函，符合安全標(biāo)準(zhǔn)。

3. 計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)：配置 I5 處理器、8G 內(nèi)存、500G 硬盤、19 寸液晶顯示器及彩色噴墨打印機(jī)。

五、工作環(huán)境要求

1. 溫度范圍：10℃ - 40℃。

2. 相對濕度：20% - 80%。

六、關(guān)鍵測量精度指標(biāo)

1. 當(dāng)鍍層厚度≥0.5um 時(shí)，頂層鍍層測量精度≤5%，確保測量結(jié)果可靠性。