精密平臺是可以在X、Y方向或者旋轉(zhuǎn)方向上精確移動的平臺。

可移動軸的數(shù)量根據(jù)型號不同而不同，有各種類型的精密平臺可供選擇，從1軸到4軸或更多。

平臺由小螺距進(jìn)給絲杠移動，千分尺或帶減速器的電機(jī)使工作臺以微米級移動，適合觀察極小的樣品。

雖然平臺可以精確移動，但運(yùn)動范圍很小，只有幾厘米，因此不適合需要平臺大幅度移動的應(yīng)用。

精密平臺的應(yīng)用

精密平臺允許沿每個軸（包括 X、Y、Z 和其他三個旋轉(zhuǎn)軸）進(jìn)行精確和獨(dú)立的移動，并且用于需要精確控制樣品位置的情況。

可用作觀察半導(dǎo)體元件等微小物體的顯微鏡載物臺、固定加工機(jī)進(jìn)行精密加工的工件的載物臺、檢查光學(xué)鏡頭時用于對準(zhǔn)光軸的檢查載物臺、或用于連接具有高精度定位的部件的載物臺。

精密平臺的原理

精密平臺是高精度的線性導(dǎo)軌、進(jìn)給絲杠、以及使進(jìn)給絲杠旋轉(zhuǎn)的千分尺或帶減速器的電動機(jī)構(gòu)成，這些機(jī)構(gòu)的數(shù)量與可動軸的數(shù)量相同。當(dāng)進(jìn)給螺桿伸出一次時，平臺就會移動螺桿的螺距（約幾十分之一毫米）。

使用千分尺時，可以通過讀取千分尺上刻制的特殊刻度來確定移動量。

使用電機(jī)時，電機(jī)內(nèi)部裝有旋轉(zhuǎn)編碼器。，檢測旋轉(zhuǎn)次數(shù)，從而控制平臺的移動量。

根據(jù)應(yīng)用情況，精密平臺有多種產(chǎn)品可供選擇，從僅具有 X 軸的單軸平臺，到具有 X 和 Y 軸的雙軸平臺，再到包括 Z 軸和旋轉(zhuǎn)的三軸到六軸平臺。 6軸精密平臺可以只使用1個軸，即“以小博大"，但由于精密平臺的可動軸越多，其價格就越高，因此建議選擇具有 低必要規(guī)格的平臺。