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氮?dú)夤袷且环N通過持續(xù)注入高純度氮?dú)?，維持柜內(nèi)惰性氣體環(huán)境的設(shè)備，用于存儲(chǔ)半導(dǎo)體晶圓或其他敏感元件，防止氧化、吸濕和污染。氮?dú)夤癫僮髦改鲜窃鯓拥模肯旅驺邃仔【幗o大家介紹一下。
一、操作前準(zhǔn)備
（1）安全確認(rèn)：確保設(shè)備周圍通風(fēng)良好，遠(yuǎn)離火源或高溫區(qū)域；確認(rèn)氮?dú)夤?yīng)管路連接牢固，氣瓶壓力≥5 bar，氮?dú)饧兌取?9.999%；校準(zhǔn)氧氣濃度監(jiān)測(cè)儀和溫濕度傳感器、流量，確保精度誤差；檢查氮?dú)夤衩芊鈼l完好，無破損；柜門閉合正常，壓力表、溫濕度傳感器顯示正常。
（2）個(gè)人防護(hù)：操作時(shí)需佩戴防靜電手套、無塵服，避免直接接觸電子元件表面。
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