主機是便攜式半導(dǎo)體氣體檢測儀XPS-7II
目標氣體 半導(dǎo)體氣體
檢測原理 電化學(xué)、電化學(xué)+裂解器
取樣方法 萃取
質(zhì)量 約1.3公斤
通過更換傳感器單元，可以檢測各種半導(dǎo)體氣體。
用于有毒氣體半導(dǎo)體工廠的氣體泄漏檢查和濃度測量。

特點：
■ 世界上*小的便攜式氣體檢測儀，用于 NF3 檢測。無需任何可選設(shè)備即可檢測 NF3。
■ 校準后的氣體傳感器單元可在現(xiàn)場更換，減少維護工作。
■ 大液晶屏
■ 2路電源：干電池和交流電源（可選）
■ 小巧輕便
■ 警報聲音的速度根據(jù)氣體濃度而變化。

可選測量氣體：

氨[NH3]，硅烷[SiH4]，二氯硅烷[SiH2Cl2]，砷烷[AsH3]，膦[PH3]，硒化氫【H2Se】，鍺烷【GeH4】，氯[Cl2]，氯化氫【HCI】，氫氟化物【HF]，溴化氫【HBr】，一氧化氮【NO】，硫化氫【H2S】，一氧化碳【CO】，二硅烷【Si2H6】，氟【F2】，臭氧【O3】，三氟化氮【NO3】

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