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大氣壓等離子體設(shè)備利用高頻脈沖電源產(chǎn)生等離子體放電，等離子體中存在的電子、離子等活性物種進(jìn)行表面改性和清洗。
等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，是一種高能狀態(tài)，在等離子體中會(huì)發(fā)生電子從原子中跳出的電離現(xiàn)象，因此電子和剩余的離子共存，但總體上電荷分布保持在中等狀態(tài)。性別。
在常壓等離子設(shè)備中，等離子體中存在的活性物質(zhì)會(huì)在表面引起化學(xué)反應(yīng)，從而可以對(duì)表面進(jìn)行改性和清潔。例如，當(dāng)產(chǎn)生氧等離子體時(shí)，它與構(gòu)成樹(shù)脂的碳原子結(jié)合并以CO 2 的形式從表面解吸。通過(guò)利用這種化學(xué)反應(yīng)，可以對(duì)樹(shù)脂、薄膜和聚合物材料的表面進(jìn)行清潔和改性。
大氣壓等離子體設(shè)備還用于制造半導(dǎo)體、電子元件、塑料和玻璃制品。利用等離子體反應(yīng)進(jìn)行表面清潔和改變聚合物表面的成分有望提高親水性并增強(qiáng)粘合強(qiáng)度。常壓等離子體設(shè)備是一種低溫等離子體，與處于高溫狀態(tài)的熱等離子體相比，可以在相對(duì)較低的溫度下產(chǎn)生等離子體，并且可以利用高頻脈沖電源產(chǎn)生等離子體。
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