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一、技術(shù)原理
3D光學干涉輪廓儀主要基于白光干涉原理進行工作。其光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后，通過分光棱鏡分成兩束。一束光經(jīng)被測表面反射，另一束光經(jīng)參考鏡反射。兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，形成干涉條紋。這些干涉條紋通過顯微鏡轉(zhuǎn)化為信號，再由專業(yè)軟件進行處理，以獲取樣品表面的三維形貌。
二、技術(shù)特點
高精度：利用白光干涉技術(shù)，3D光學干涉輪廓儀可實現(xiàn)納米級甚至亞納米級的測量精度。
非接觸式：通過光學原理進行測量，無需與被測物體直接接觸，避免了機械磨損和樣品損傷。
快速便捷：優(yōu)化聚焦和算法使得測量速度極快，能夠快速構(gòu)建3D圖形表面。
三、應用領(lǐng)域
3D光學干涉輪廓儀廣泛應用于多個領(lǐng)域：
材料科學：用于納米材料、半導體等材料的表面形貌和粗糙度測量。
航空航天：對航空器、衛(wèi)星等高精度零部件的表面質(zhì)量進行檢測。
精密制造業(yè)：測量各類精密儀器、設(shè)備及工具表面的形貌，確保產(chǎn)品質(zhì)量。
生物醫(yī)學：對生物組織、細胞等表面形貌進行非破壞性測量，為生物學研究提供支持。
總之，3D光學干涉輪廓儀以其高精度、非接觸式、快速便捷的特點，在多個領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應用前景。
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