1、概念：濕化學(xué)品是歐美及我國(guó)中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)的稱呼（更為普遍），國(guó)際上又稱工藝化學(xué)品，我國(guó)習(xí)慣稱其為超凈高純?cè)噭?/span>

2、應(yīng)用：濕化學(xué)品是超大規(guī)模集成電路、平板顯示、太陽(yáng)能電池、晶圓等制作過(guò)程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一。濕化學(xué)品一般要求超凈和高純，對(duì)生產(chǎn)、包裝、運(yùn)輸及使用環(huán)境的潔凈度都有很高要求。

3、目的：濕電子化學(xué)品的金屬雜質(zhì)含量越低、顆粒度越小，越是可以應(yīng)用于更為先進(jìn)的晶圓制程工藝。所以濕電子化學(xué)品的核心指標(biāo)就是“純凈度”。液體顆粒計(jì)數(shù)器來(lái)判定濕化學(xué)品的純度等級(jí)，以便對(duì)應(yīng)的企業(yè)采購(gòu)對(duì)應(yīng)級(jí)別的產(chǎn)品。

4、檢測(cè)儀器：PMT-2 液體顆粒計(jì)數(shù)器，防腐型。采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測(cè)傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可

對(duì)鹽酸、硫酸、硝酸、氨水、雙氧水、氫氧化鉀、氫氧化鈉、刻蝕液等化學(xué)品進(jìn)行顆粒檢測(cè)。有0.1、0.2、0.5三個(gè)檢測(cè)段的傳感器供選擇。

5、試劑：?jiǎn)嗡釅A、混合液、溶劑類。

6、檢測(cè)過(guò)程：取一定量溶液；用PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)器對(duì)液樣進(jìn)行檢測(cè)，將檢測(cè)結(jié)果對(duì)照電子化學(xué)品SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)表，來(lái)判定溶液的級(jí)別。見(jiàn)下表：

7、結(jié)論：目前太陽(yáng)能電池領(lǐng)域僅需要達(dá)到G1等級(jí)；顯示面板領(lǐng)域一般要求達(dá)到G2、G3等級(jí)；集成電路領(lǐng)域，8英寸及以下晶圓要求達(dá)到G3、G4水平，12英寸晶圓需要達(dá)到G5等級(jí)。國(guó)際上制備G1到G5級(jí)濕電子化學(xué)品的技術(shù)已經(jīng)趨于成熟，國(guó)內(nèi)大部分企業(yè)已經(jīng)達(dá)到國(guó)際G3標(biāo)準(zhǔn)，并已開展G4標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)工作。