ICP光譜儀的儀器性能需要定期（六個月）進(jìn)行校準(zhǔn)，校準(zhǔn)項(xiàng)目如下：
一、波長的正確性和重復(fù)性
       波長的正確性和重復(fù)性利用汞燈準(zhǔn)值即可完成。在光路入射處安裝一個Hg燈，可用它的一條固定譜線來準(zhǔn)直校正光路。按下控制面板上的汞燈鍵，如汞燈無讀數(shù)，則按INCREASE或DECREASE鍵進(jìn)行調(diào)整，使讀數(shù)在20～100之間。進(jìn)入ICP軟件，啟動運(yùn)行光譜儀中的多色儀校準(zhǔn)程序，計(jì)算機(jī)會自動找到峰值位置，狹縫汞線對正汞的出射狹縫，其它元素通道的出射狹縫也就對正了。

二、系統(tǒng)試驗(yàn)
1，電子試驗(yàn)：通過置換PMT信號的試驗(yàn)電壓來測試積分器和A/D轉(zhuǎn)換器電路，檢查測量系統(tǒng)，結(jié)果應(yīng)符合出廠技術(shù)要求。
2，滲漏試驗(yàn)：檢查積分模擬開關(guān)的狀態(tài)，結(jié)果應(yīng)符合出廠技術(shù)要求。
3 ，暗電流試驗(yàn)：在每個通道上進(jìn)行測量，以便測定在無光條件下由光電倍增管產(chǎn)生的殘余電流，結(jié)果應(yīng)符合出廠技術(shù)要求。
4，穩(wěn)定性試驗(yàn)：用來長期測試系統(tǒng)電子元件，儀器開機(jī)穩(wěn)定后，4小時(shí)內(nèi)每間隔15分鐘測量一次，共16次，然后由計(jì)算機(jī)算出相對標(biāo)準(zhǔn)偏差（RSD％），結(jié)果應(yīng)符合出廠技術(shù)要求。

三、檢出限的校準(zhǔn)
      在  ICP光譜儀處于穩(wěn)定狀態(tài)后，用6％鹽酸溶液進(jìn)行霧化，測量各個元素的檢出限，依據(jù)日常分析范圍和出廠要求，判斷儀器是否合格。

四、精密度的校準(zhǔn)
      在  ICP光譜儀穩(wěn)定后，用標(biāo)準(zhǔn)溶液進(jìn)行霧化，按照設(shè)定的計(jì)算機(jī)程序連續(xù)測量12次，此組數(shù)據(jù)不得取舍或補(bǔ)測，由計(jì)算機(jī)算出平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差和精密度RSD。

五、測量準(zhǔn)確度的校準(zhǔn)
      ICP光譜儀穩(wěn)定后，光路準(zhǔn)值，在適宜、正確的格式文件下，用適中的標(biāo)準(zhǔn)樣品對工作曲線進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化校正，對檢查樣品進(jìn)行測量，結(jié)果應(yīng)符合GB222－84要求。