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納米壓痕測(cè)試儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測(cè)試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性。可適用于有機(jī)或無(wú)機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等。
納米壓痕測(cè)試儀的測(cè)量原理：納米壓入測(cè)試通過(guò)計(jì)算機(jī)控制載荷連續(xù)變化，并在線監(jiān)測(cè)壓入深度。一個(gè)完整的壓痕過(guò)程包括兩個(gè)步驟，即所謂的加載過(guò)程與卸載過(guò)程。在加載過(guò)程中，給壓頭施加外載荷，使之壓入樣品表面，隨著載荷的增大，壓頭壓入樣品的深度也隨之增加，當(dāng)載荷達(dá)到*大值時(shí)，移除外載，樣品表面會(huì)存在殘留的壓痕痕跡。
該設(shè)備測(cè)試的特點(diǎn)：
（1）試樣制備簡(jiǎn)單。測(cè)試一般對(duì)試樣表面粗糙度有特殊要求，對(duì)被測(cè)試樣的形狀尺寸并無(wú)特殊要求，壓入深度在微納米尺度，是一種*損測(cè)試方法。
（2）測(cè)量分辨力高。
（3）操作方便。利用載荷-深度曲線，可直接換算得到接觸面積，無(wú)需對(duì)殘余壓痕面積進(jìn)行測(cè)定。
（4）測(cè)試內(nèi)容豐富。
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