氣浮運(yùn)動臺介紹（三）

來源：北京瑞邦精控科技有限公司 2023年01月07日 16:10

氣浮運(yùn)動臺的精度指標(biāo)：

直線臺：定位精度、重復(fù)定位精度、直線度、平面度、Pitch/Roll/Yaw，見下圖。

直線度：運(yùn)動臺在水平方向移動時于垂直水平軸線的左右方向偏差；

平面度：（又稱垂直于直線度）運(yùn)動臺在水平方向移動時于垂直于水平軸線上下方向的偏差；

Pitch：圍繞X方向的角度誤差；

Roll：圍繞Y軸方向的角度誤差；

Yaw：圍繞Z方向的角度誤差。

轉(zhuǎn)臺：定位精度、重復(fù)定位精度、軸向跳動、徑向跳動及傾角誤差，見下圖。

軸向跳動：轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸同軸向發(fā)生的誤差；

徑向跳動：轉(zhuǎn)臺在軸向位置垂直于旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)軸發(fā)生的誤差；

傾角誤差：相對于轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)軸在角度方向上的誤差。

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