氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)是有氣浮導(dǎo)軌構(gòu)成的精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)。在常見(jiàn)的設(shè)備中，經(jīng)?？吹揭恍┻\(yùn)動(dòng)裝置，按驅(qū)動(dòng)方式分為步進(jìn)電機(jī)、伺服旋轉(zhuǎn)電機(jī)、直線電機(jī)、音圈電機(jī)及壓電陶瓷電機(jī)等；按導(dǎo)軌導(dǎo)向分類為機(jī)械導(dǎo)軌（摩擦式）和氣浮導(dǎo)軌，其中光刻機(jī)用的磁懸浮也為非接觸式，但成本相當(dāng)昂貴；按反饋形式分為開(kāi)環(huán)、半閉環(huán)和閉環(huán)，步進(jìn)電機(jī)為開(kāi)環(huán)，伺服電機(jī)為半閉環(huán)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)并搭配光柵尺行程閉環(huán)反饋。

根據(jù)應(yīng)用，精度等級(jí)不同，所以選用不同的運(yùn)動(dòng)裝置。以下是大致介紹：

步進(jìn)電機(jī)加精密絲桿驅(qū)動(dòng)，機(jī)械導(dǎo)軌導(dǎo)向，為開(kāi)環(huán)運(yùn)動(dòng)裝置，按脈沖的個(gè)數(shù)移動(dòng)，100mm行程精度在50μm-100μm，應(yīng)用在低精度行業(yè)應(yīng)用。

伺服電機(jī)加精密絲桿驅(qū)動(dòng)，機(jī)械導(dǎo)軌導(dǎo)向，為半閉環(huán)運(yùn)動(dòng)裝置（通過(guò)伺服電機(jī)后的原編碼器反饋，不能監(jiān)測(cè)工件移動(dòng)的位置），精度在20-30μm。行業(yè)內(nèi)也可以移動(dòng)工件的編碼加光柵尺做閉環(huán)反饋，精度能做到5-10μm，絲桿和聯(lián)軸器有反向間隙，所以精度做不高，同時(shí)絲桿的螺距，致使空載的速度在300mm/s以內(nèi)。增大絲桿螺距提升速度，但又犧牲精準(zhǔn)度。

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)采用直驅(qū)電機(jī)（直線電機(jī)和直驅(qū)力矩電機(jī)）作為直接驅(qū)動(dòng)方式，在行業(yè)得到了認(rèn)可。電機(jī)的動(dòng)子直接連接負(fù)載板,通過(guò)機(jī)械導(dǎo)軌導(dǎo)向，中間無(wú)任何傳動(dòng)裝置，速度可高達(dá)2m/s，100mm行程精度在1-2μm，同時(shí)也可以搭配氣浮導(dǎo)軌導(dǎo)向，獲取更高的亞微米級(jí)別精度。