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我們可以從幾個(gè)方面去區(qū)別這兩款儀器但不管怎么去區(qū)分他們還是可以同時(shí)檢測(cè)相同的工件，只是在精度上有所不同影像測(cè)量儀的精度會(huì)更高于工具顯微鏡因?yàn)樗柚诟呒夹g(shù)的點(diǎn)坐標(biāo)數(shù)據(jù)處理原理而工具顯微鏡還只是在傳統(tǒng)的標(biāo)尺準(zhǔn)對(duì)方式上。這也是他們兩者其中之一的區(qū)別。如果從原理上分，我們比較容易理解工具顯微鏡的原理而影像儀原理更為復(fù)雜同樣是在光學(xué)成像的基礎(chǔ)上測(cè)量對(duì)象，而影像儀多了一層影像處理技術(shù)這款技術(shù)在運(yùn)用現(xiàn)在高技術(shù)的圖片集點(diǎn)運(yùn)算法則，將各種幾何元素的位置關(guān)系表達(dá)得更為精準(zhǔn)清晰。而工具顯微鏡的這種精準(zhǔn)度和清晰度更依懶于人工的操作和偶然的外界條件誤差也是可控或者不可控的。
這兩種光學(xué)儀器在結(jié)構(gòu)上也不相同影像儀通常由基座和幾大檢測(cè)系統(tǒng)連同PC電腦組裝成，工具顯微鏡就顯得稍微簡單些操作者只需要熟練的技巧就可通過視覺來讀取被測(cè)工件尺寸大小，而影像儀除此之外，更要懂得運(yùn)用操作軟件有些幾何檢測(cè)位置關(guān)系要去軟件中索取或者新建，這相對(duì)而言，是有一定的專業(yè)性。
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