方阻測試儀可以測試不同材料的方塊電阻

來源：寧波瑞柯微智能科技有限公司 2021年07月16日 09:05

方阻測試儀是用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、 ITO 導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。

FT-340系列方阻測試儀采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能。

影響探頭法測試方阻精度的因素有：

（1）要求探頭邊緣到材料邊緣的距離大大于探針間距，一般要求10倍以上。

（2）要求探針頭之間的距離相等，否則就要產(chǎn)生等比例測試誤差。

（3）理論上講探針頭與導電薄膜接觸的點越小越好。但實際應用時，因針狀電極容易破壞被測試的導電薄膜材料，所以一般采用圓形探針頭。

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