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為使勻膠旋涂儀達(dá)到預(yù)期的效果，在使用時應(yīng)注意這幾點
勻膠旋涂儀快速啟動和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。主要用于微細(xì)加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。適用于半導(dǎo)體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。勻膠旋涂儀的使用注意事項：
1、在開機前，要抬起控制鍵以及吸片鍵，將電源開啟以后，分別將各鍵按下進(jìn)行操作，從而使沒有啟動電機就轉(zhuǎn)動得以避免。
2、片子尺寸不一樣，選用的片托的尺寸也不一樣，厚度低于1.5毫米的片子對帶吸氣槽的片托進(jìn)行選用，厚度高于1.5毫米的片子，對O型圈的片托進(jìn)行選用。
3、相比于片托有效尺寸，所甩的樣片的尺寸要大大約2-3毫米。若使用大片托甩小的樣片，就會漏氣，與此同時導(dǎo)致往抽氣室內(nèi)吸入膠。
4、若一不小心被吸入了抽氣室，需要馬上進(jìn)行清洗，不然片托、光電盤、電機軸就會粘在一起,導(dǎo)致電機轉(zhuǎn)不動,拆卸也變得非常困難。
5、在使用結(jié)束后，應(yīng)對設(shè)備進(jìn)行清潔。
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