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MaxDamp™-針對動態(tài)載荷和偏移載荷的氣浮支腿系統(tǒng)

來源:青島森泉光電有限公司   2020年11月18日 10:38  

 

MaxDamp-針對動態(tài)載荷和偏移載荷的氣浮支腿系統(tǒng)

MaxDamp是TMC在氣浮光學(xué)平臺系統(tǒng)上針對動態(tài)載荷或偏移載荷產(chǎn)品的一個創(chuàng)新。

在需要震動隔離的實(shí)驗(yàn)室里經(jīng)常遇到桌面上有動態(tài)載荷或者高速移動的有效載荷,普通的光學(xué)平臺支腿很難在這種條件下同時保持氣浮桌面的穩(wěn)定性和平臺隔振的有效性,但MaxDamp的出現(xiàn)有效的解決了這些問題。

 

MaxDamp®將TMC傳統(tǒng)的Gimbal Piston空氣隔振器與內(nèi)部防篡改粘性阻尼相結(jié)合,為此類應(yīng)用提供了額外的阻尼。

 

當(dāng)需要較高阻尼時,它將成為一個好的選擇,而且它的減振性能只是略微有一點(diǎn)減弱,卻獲得了更快的有效負(fù)載穩(wěn)定時間和更高的阻尼水平。

 

MaxDamp適用于需要快速穩(wěn)定有效載荷的高負(fù)載偏移、高速XY電動工作臺的有效載荷,如半導(dǎo)體檢測、光刻機(jī)以及其他具有相對較高動態(tài)載荷的電動工作臺的儀器,對于具有機(jī)器人運(yùn)動或電動工作臺的有效載荷,MaxDamp®提供的有效隔振并主動穩(wěn)定有效負(fù)載引起的運(yùn)動更使其成為優(yōu)良的解決方案。

 

如果您的動態(tài)載荷或偏移載荷非常大,MaxDamp®的阻尼性依舊不能滿足您的需求,那么UltraDamp™ - 高阻尼空氣隔振系統(tǒng) 將會滿足您的這些高阻尼需求。

 

性能特點(diǎn):

1. 從4-5 Hz開始的水平和垂直隔振
2 共振的小放大(3-5 dB)

3模塊化設(shè)計(jì)。

4結(jié)合了自調(diào)平Gimbal Piston™空氣隔振器的優(yōu)勢,并具有高阻尼作用

5可升級到Electro-Damp®主動隔振

6非常適合具有機(jī)器人運(yùn)動或電動工作臺的有效載荷,可提供所需的隔振并主動穩(wěn)定有效負(fù)載引起的運(yùn)動

 

TMC的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之間的阻尼水平對比圖表:

GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™的訂購示例表:

應(yīng)用照片:

 

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦:

1  激光控制:激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等

2  探測器:光電探測器、單光子計(jì)數(shù)器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

3  定位與加工:納米定位系統(tǒng)、微納運(yùn)動系統(tǒng)、多維位移臺、旋轉(zhuǎn)臺、微型操作器等等

4  光源:半導(dǎo)體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

5  光機(jī)械件:用于光路系統(tǒng)搭建的高品質(zhì)無應(yīng)力光機(jī)械件,如光學(xué)調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

6  光學(xué)平臺:主動隔振平臺、氣浮隔振臺、實(shí)驗(yàn)桌、剛性工作臺、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

7  光學(xué)元件:各類晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、透射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

8 染料:激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等

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