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(1)型號(hào)規(guī)格：ENC -654
- 測(cè)量范圍：X=500mm，Y=600mm，Z=400mm
- 空間測(cè)量示值誤差：E≤3.5+L/250µm
- 分辨率：0.5µm
- 大移動(dòng)速度：430mm/s
- 大承受重量：300kg
- 主機(jī)重量：550kg
- 主機(jī)外型尺寸：1020mm×946mm×2200mm
( 2）*控制系統(tǒng)
3）精密過(guò)濾器
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