真空等級

在密閉的空間中，空氣被抽出成為無空氣

的空間。氣室內(nèi)的空氣減少，氣壓下降，

產(chǎn)生真空。封閉空間中的空氣量越少，氣

壓越低，真空度越高。真空度分為四級。

高于1 mbar的氣壓為低真空度。低于該氣

壓時，為中等真空度。低于0.001 mbar為

高真空度，達到或低于0.000 000•1•mbar

為超高真空度。

真空應(yīng)用

真空需要一個密閉的空間不存在任何空氣，

因此也不存在任何懸浮顆粒，不允許任

何“異物”存在。有時需要在真空中測量

尺寸，例如需要檢查亞微米級的超精細結(jié)

構(gòu)或需要切分和檢查顆粒。直線光柵尺和

角度編碼器在真空中的常見應(yīng)用包括電子

顯微鏡、機械手、多路執(zhí)行器、XY工作

臺、電子束顯微鏡，半導(dǎo)體工業(yè)的圓晶檢

查或測量同步加速器輻射的光譜儀軸。

真空應(yīng)用對編碼器的要求

海德漢標準編碼器在有限的溫度范圍內(nèi)適

用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超

高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊的

要求。

少量氣體逸出

編碼器用于真空應(yīng)用的前提條件之一是必

須盡可能減少氣體的逸出，否則真空室的

壓力將顯著升高。在超高真空的應(yīng)用中，

所有部件都十分關(guān)鍵。例如，部分塑料件

的揮發(fā)性溶劑會逸出。印刷電路板、黏膠

或漆料中都含這類塑料，在超真空應(yīng)用中，

必須嚴格避免使用這些材料。海德漢采用

的PCB和黏膠能滿足真空應(yīng)用要求。常用

的漆料也用滿足真空應(yīng)用要求的材料取代。

在超真空應(yīng)用中，必須盡可能減少零部件

數(shù)量•—•接口和脈沖整形電子電路必須在真

空室外。為此，海德漢提供配外部接口硬

件的編碼器。對于高真空應(yīng)用，方法之一

是將接口硬件安排在真空室內(nèi)。

空腔的正確通風(fēng)

要產(chǎn)生真空，必須排出密閉空間內(nèi)的空氣。

達到要求的低氣壓的時間被稱為“抽真空

時間”，該時間必須盡可能短，以使真空

系統(tǒng)盡快開始工作。如果空腔中的空氣能

很快逸出，就能縮短抽真空的時間。為此，

海德漢編碼器外殼增加了空氣孔數(shù)量，盲孔

的螺紋孔被打開，通氣孔與空腔直接貫通。

不能使用鐵磁材料

根據(jù)真空腔中進行的操作，編碼器不允許

使用部分材料。電子束顯微鏡用于檢查微

電子電路，它不允許使用鐵磁材料。為此，

海德漢真空應(yīng)用的測量基準和讀數(shù)頭均采

用非磁性材料制造。只有接口電子電路中

有鐵磁材料。為此，海德漢提供多款編碼

器，其接口電子電路可在真空環(huán)境之外。