美國(guó)Kimball Physics高能電子槍系統(tǒng)EGH-8103 EGPS-8103特點(diǎn)

特點(diǎn)：

可聚焦、高能電子束，小光斑尺寸選項(xiàng)可達(dá) 60 μm

10 keV 至 100 keV

應(yīng)用：

• 一般真空物理學(xué)

• 輻射研究

• 地表轟炸

• 半導(dǎo)體研究

• 生物標(biāo)本照射

• X 射線生成

• 血漿激發(fā)

• 熒光研究

• 表面物理研究

功能/選項(xiàng)：

• 小光斑尺寸低至 60 μm

• 光束電流高達(dá) 1 mA

• 靜磁聚焦

• 靜磁偏轉(zhuǎn)

• 磁性透鏡

• 脈沖能力

• 運(yùn)行期間的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)

• 用戶可更換的點(diǎn)火裝置

• 電腦 / 遙控器

• 差速泵送

能量范圍：10 keV 至 100 keV
光束電流/光斑尺寸：
標(biāo)準(zhǔn)：10 nA 至 100 μA / 標(biāo)準(zhǔn)：60 μm 至 10 mm
大電流：10 nA 至 1 mA / 大電流：500 μm 至 10 mm
安裝：6.0“ CF 安裝

Kimball Physics EGH-8103 電子槍及其匹配的 EGPS-8103 電源是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開(kāi)。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-8103 可用于空間材料測(cè)試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、X 射線產(chǎn)生和等離子體激發(fā)。

該槍使用難熔金屬或六硼化鑭 （LaB6） 陰極產(chǎn)生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié);能量從 10 keV 到 100 keV，電流從 10 nA 到 1 mA。電子束可以通過(guò)控制網(wǎng)格的輸入信號(hào)進(jìn)行脈沖傳輸。

該噴槍有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點(diǎn)火裝置相對(duì)于陽(yáng)極和色譜柱進(jìn)行機(jī)械對(duì)準(zhǔn)。這種對(duì)準(zhǔn)可以在噴槍在光束打開(kāi)的情況下運(yùn)行時(shí)實(shí)時(shí)完成。

噴槍設(shè)計(jì)為源區(qū)域提供差動(dòng)泵送，源室上有一個(gè) 4.5 英寸 CF 法蘭，用于連接渦輪分子泵。有三個(gè) 2.75 英寸 CF 法蘭，用于電離計(jì)和其他選項(xiàng)。該噴槍通常安裝在 6.0 英寸的 CF 法蘭上，插入長(zhǎng)度為零，即不會(huì)延伸到真空室中。