渦輪分子泵系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域，包括質(zhì)譜分析、泄漏檢測(cè)和半導(dǎo)體制造。這些復(fù)雜的系統(tǒng)需要高真空才能有效運(yùn)行，它們通過(guò)隔膜泵來(lái)達(dá)到這些真空度。在這些應(yīng)用中，與其他類(lèi)型的泵相比，隔膜泵技術(shù)具有多項(xiàng)優(yōu)勢(shì)。
渦輪分子泵如何工作？
渦輪分子泵利用旋轉(zhuǎn)的金屬渦輪葉片使氣體分子通過(guò)一個(gè)腔室。分子流入泵的進(jìn)氣口，葉片將它們進(jìn)一步推向腔體。然后對(duì)其進(jìn)行壓縮，再?gòu)呐艢饪诹鞒觥u輪分子泵需要在高真空條件下才能有效工作。它們通常依靠粗抽泵（有時(shí)稱(chēng)為前級(jí)泵）來(lái)產(chǎn)生真空。之所以需要如此低的真空度，是因?yàn)槿~片的運(yùn)動(dòng)速度非?？?，無(wú)法應(yīng)對(duì)大氣壓下產(chǎn)生的空氣摩擦。
渦輪分子泵在各種應(yīng)用中都很常見(jiàn)。它們是質(zhì)譜儀器的重要組成部分，有助于創(chuàng)造高真空環(huán)境，確保精確測(cè)量。它們?cè)趻呙桦娮语@微鏡中也起著類(lèi)似的作用，因?yàn)樵趻呙桦娮语@微鏡中，也需要高真空的環(huán)境來(lái)進(jìn)行高倍率分析。它們還用于泄漏檢測(cè)和環(huán)境分析應(yīng)用，以及同樣需要高真空的半導(dǎo)體應(yīng)用。
隔膜泵的巨大優(yōu)勢(shì)
隔膜泵常常被用作粗抽泵，為渦輪分子系統(tǒng)產(chǎn)生真空。如果沒(méi)有足夠高的真空，渦輪分子泵就無(wú)法有效運(yùn)行。在某些情況下，它們根本無(wú)法啟動(dòng)。KNF 提供極限真空低至 0.5 mbar abs. 的隔膜泵。除了能夠達(dá)到所需的預(yù)真空度外，與其他泵技術(shù)相比，它們還具有一些額外優(yōu)勢(shì)。
隔膜泵的真空度穩(wěn)定，使用壽命長(zhǎng)，維護(hù)成本低。它們無(wú)油運(yùn)行，不會(huì)發(fā)生泵送介質(zhì)交叉污染的可能。KNF 泵可配備直流無(wú)刷電機(jī) (BLDC)，可控制泵的運(yùn)行速度，以及調(diào)節(jié)設(shè)置參數(shù)。這對(duì)于渦輪分子泵來(lái)說(shuō)非常重要，因?yàn)檫@種泵需要快速啟動(dòng)，然后再減速到運(yùn)行速度。隔膜泵還可配備氣鎮(zhèn)，用于有濕氣的場(chǎng)合。KNF 泵可按任何方向安裝和組裝，還可選擇 N 84 系列等便攜式解決方案，以滿(mǎn)足體積小、重量輕的要求。
各種隔膜泵解決方案
KNF 為粗加工泵應(yīng)用提供各種解決方案。N 952 可以快速對(duì)真空腔降壓，同時(shí)保持最佳性能，直至最終真空。它可以達(dá)到 1.5 mbar abs.的最大真空度，同時(shí)提供 36 l/min 的最大流量。它有多種配置和電機(jī)可供選擇，包括數(shù)字可調(diào)電機(jī)。
N 813 也是粗抽泵的理想選擇，最大真空度可達(dá) 0.5 mbar abs.，最大流量為 13 l/min 。 它提供無(wú)污染的介質(zhì)傳輸，防止關(guān)閉后的回流污染，同時(shí)還能防止流出的空氣污染介質(zhì)。N 813 還可配備可定制的電機(jī)，以滿(mǎn)足粗加工泵應(yīng)用所需的參數(shù)設(shè)置。
N 952
N 813
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