聚焦離子束電子束雙束顯微鏡可用于大規(guī)模集成電路的缺陷診斷、修補(bǔ)、離子注入、原位加工、掩膜版修理、刻蝕，集成電路設(shè)計(jì)修改，量子芯片器件制作，無(wú)掩膜加工，納米結(jié)構(gòu)制作，復(fù)雜納米圖形加工，材料的三維成像與分析、超靈敏表面分析、表面改性，以及透射電鏡樣品制備等方面。應(yīng)用需求廣泛，不可或缺。
目前，國(guó)儀量子推出的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500擁有自主可控的場(chǎng)發(fā)射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒，是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì)，低電壓高分辨率成像，保證納米分析能力。“承影”離子鏡筒采用液態(tài)鎵離子源，擁有高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，保證納米加工能力。集成式的納米機(jī)械手、氣體注入器，擁有24個(gè)擴(kuò)展口，配置全面，自主可控，擴(kuò)展性強(qiáng)，為您打造全能納米分析和加工中心。
為向用戶(hù)展示DB500的卓越性能，國(guó)儀量子電鏡團(tuán)隊(duì)特別策劃了《國(guó)儀FIB秀》專(zhuān)題節(jié)目，將通過(guò)視頻呈現(xiàn)這臺(tái)尖端設(shè)備在材料科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。觀眾將了解DB500的工作原理，欣賞其拍攝的驚艷微觀圖像，并深入探索這一技術(shù)對(duì)科研和工業(yè)發(fā)展的重大意義。
納米微柱樣品制備
成功制備納米微柱樣品，展示了國(guó)儀量子雙束電鏡在納米尺度加工和分析方面的強(qiáng)大功能。產(chǎn)品性能可為納米力學(xué)測(cè)試的客戶(hù)提供精確、高效、多模態(tài)的測(cè)試支持，將助力客戶(hù)在材料科學(xué)研究中取得突破性進(jìn)展。
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