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硅基叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T
電化學(xué)傳感器通過與被測目標(biāo)分析物發(fā)生反應(yīng)，并產(chǎn)生與目標(biāo)分析物濃度成比例的電信號來工作。典型的電化學(xué)傳感器由傳感電極和反電極組成，并有一個薄電解層隔開。在環(huán)境監(jiān)測中，可以在電化學(xué)傳感器的電極之間生長可與目標(biāo)分析物發(fā)生反應(yīng)并發(fā)生阻值變化的捕獲物，通過檢測捕獲物的電阻值變化，實現(xiàn)檢測環(huán)境中大部分有毒有害生物化學(xué)物質(zhì)的目的。電化學(xué)傳感器通常具有操作簡單、儀器成本低等特點。除此之外，電化學(xué)傳感器可以與各種的微機(jī)電系統(tǒng)制造技術(shù)聯(lián)用，從而實現(xiàn)大規(guī)模的批量生產(chǎn)，并且可以實現(xiàn)小型化從而降低成本。
折疊編輯本段結(jié)構(gòu)
叉指電極結(jié)構(gòu)
微間距的叉指電極是一種為常用的微間距電極結(jié)構(gòu)，它被廣泛的應(yīng)用于非破壞性測試、電子通訊、化學(xué)測試等多個領(lǐng)域。 一般來說，不同的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)τ诓嬷鸽姌O的形狀、幾何學(xué)尺寸、加工工藝、材料的選擇、建模分析、系統(tǒng)集成以及數(shù)據(jù)的分析都有不同的要求，因此對于不同的領(lǐng)域我們應(yīng)該區(qū)分對待。如圖所示，列出了幾種常見的叉指電極結(jié)構(gòu)，基本的結(jié)構(gòu)有圓形、矩形等，而每條叉指的形狀除簡單的矩形外，也可有圓形或矩形突起。在這里，我們要根據(jù)環(huán)境監(jiān)測的具體要求，針對叉指電極的結(jié)構(gòu)形狀進(jìn)行分析說明和終的結(jié)構(gòu)選擇，確定具體的設(shè)計參數(shù)根據(jù)微弱信號檢測的相關(guān)原理，在低頻信號測量時，電阻值越高，其相應(yīng)的電阻熱噪聲和閃爍噪聲也就越高，不利于信號的提取和檢測[1]。所以，可以通過減少敏感膜電阻值的方法，實現(xiàn)對氣體敏感傳感器的信號噪聲比的提高，從而減小噪聲對測量信號的干擾。根據(jù)電阻的計算公式，影響阻值變化的因素主要有電阻率、電阻長度及橫截面積等。一般情況下，氣體敏感材料薄膜的電阻率較高，因此減小敏感膜電阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的寬長比。但是，敏感膜的厚度太大會降低氣體敏感傳感器的響應(yīng)時間。因此，綜合考慮到響應(yīng)時間和信噪比，需要設(shè)計優(yōu)化氣體敏感傳感器中微電極的厚度和長寬比。
硅基叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T 參數(shù)
真空腔體 | ||
類型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品臺 | ||
樣品臺材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 最大值 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | |
溫控類型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數(shù)量 | 4探針（可擴(kuò)展5探針） | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） | |
探針尖 | 10μm | |
手動探針移動平臺 | ||
X軸移動行程 | 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動行程 | 120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿） | |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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