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弗萊貝格Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀能提供自動(dòng)的晶格定位和樣品校準(zhǔn)的在線解決方案，我們專注于超高速和準(zhǔn)確的 Omega掃描方法，可在幾秒鐘內(nèi)確定完整的晶體取向。可添加二維(X-Y)或三維掃描，全自動(dòng)化的搖擺曲線測(cè)量，使得XRD單晶定向儀成為單晶制造商質(zhì)量控制環(huán)節(jié)中一個(gè)重要組成部分。

?應(yīng)用范圍

作為快速、簡(jiǎn)單、可靠的X射線單晶定向儀，弗萊貝格Omega/Theta Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的質(zhì)量控制、材料研發(fā)等領(lǐng)域，主要用于超高速晶體定向和搖擺曲線的測(cè)量。

?應(yīng)用技術(shù)

• 可用于生產(chǎn)的立式XRD
• 轉(zhuǎn)移技術(shù)：可高效率進(jìn)行多個(gè)鑄錠同時(shí)定向（堆疊）
• 同時(shí)測(cè)定（Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、藍(lán)寶石、渦輪葉片等200多種晶體材料）幾乎所有晶體方向取向。
• 快速測(cè)量晶體取向，測(cè)量時(shí)間僅需5秒，精度：0.003°
• 自動(dòng)晶片分類和處理
• 搖擺曲線測(cè)量和3Dmapping繪圖 、晶圓表面翹曲度偏差檢測(cè)
• 整塊晶圓和渦輪葉片晶體取向mapping 
• 設(shè)備操作簡(jiǎn)單、快捷、方便，適用于各研究機(jī)構(gòu)和全自動(dòng)化生產(chǎn)線

?應(yīng)用實(shí)例

案例1：

藍(lán)寶石取向 mapping、搖擺曲線測(cè)量：窄反射峰=表面質(zhì)量好

案例2：

SiC 取向 mapping、搖擺曲線測(cè)量：寬反射峰=晶體表面局部干擾

案例3：

碳化硅晶圓檢測(cè)案例——晶體取向mapping

1.總傾斜偏差mapping

2.表面傾斜偏差mapping

3.垂直方向傾斜偏差mapping

4.水平傾斜偏差mapping

5.搖擺曲線mapping