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測量顯微鏡的方式運(yùn)用

閱讀:413發(fā)布時間:2023-7-5

  一、測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試儀器。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。工作臺除作X、Y坐標(biāo)的移動外,還可以作360度的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測量;采用雙筒目鏡觀察。
 
  二、主要優(yōu)點(diǎn):小巧便攜,只需一臺計(jì)算機(jī)就可以直觀的觀測微觀放大圖像,進(jìn)行精確數(shù)據(jù)測量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場所觀測。數(shù)碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用,已成為一種可靠實(shí)用的精密測量儀器。
 
  三、以裂像聚焦指示器為測量原理,采用高精度光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測方式進(jìn)行非接觸高低差測量。不僅可以對準(zhǔn)目標(biāo)影像,還能觀察測量點(diǎn)的表面狀態(tài),對高度,深度,高低差等進(jìn)行測量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場,微分干涉,金相,偏光等多種觀察功能。所以對極細(xì)微的間隙高低差,夾雜物、微米以下的突起、細(xì)微劃痕、以及金相組織進(jìn)行觀察。
 
  四、AFM的圖像也可以使用“恒高”模式(ConstantHeightMode)來獲得,也就是在X,Y掃描過程中,不使用反饋回路,保持針尖與樣品之間的距離恒定,通過測量微懸臂Z方向的形變量來成像。這種方式不使用反饋回路,可以采用更高的掃描速度,通常在觀察原子、分子像時用得比較多,而對于表面起伏比較大的樣品不適用。

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