珀金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司
使用 NexION 300S / 350S ICP-MS 測定半導體行業(yè)常用有機溶劑中的雜質
檢測樣品：異丙醇（IPA） 丙二醇甲醚乙酸酯（PGMEA）
檢測項目：雜質
方案概述：本應用指南展示了NexION300SICP-MS抗干擾的能力，僅憑一次分析，便可在熱等離子體條件下，輕松地測量IPA和PGMEA中的痕量雜質，且適用于所有分析物。是在一次分析中，可同時使用標準和反應兩種模式。
半導體行業(yè)中常用的兩種有機溶劑分別是異丙醇（IPA）和丙二醇甲醚乙酸酯（PGMEA）。IPA 常用于清潔硅片，PGMEA 則用作光阻劑的稀釋劑或剝離劑。存儲器中如有污染物，會對其可靠性產生不利影響，因此兩者溶劑都必須加以分析，以檢查是否出現(xiàn)痕量金屬污染。SEMI 標準 C41-0705 規(guī)定，在高純度 4 級 IPA 中，每種元素的污染限值不超過 100 ppt。
電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）能夠快速測定各種化工過程中的痕量分析物（ng/L 或萬億分之一），已成為質量控制中*的分析工具。然而，在直接對有機溶劑展開分析前，當務之急是解決某些可能存在問題，如粘度和揮發(fā)性、進樣組件的兼容性、碳在錐體接口上的沉積、基質衍生的多原子干擾以及碳含量導致的基質抑制效應。配備制冷裝置的霧化室有助于降低蒸汽壓，且能優(yōu)化揮發(fā)性有機溶劑的樣品提升速率。通過在霧化室和矩管之間的中心管氣流中加入少量氧氣，可以改善碳在錐體接口上的沉積。
盡管冷等離子體已被證實可有效降低氬氣方面的干擾，但它甚至比熱等離子體更容易抑制基質。此外，在低等離子能下，其他多原子干擾會*形成，而在熱等離子體條件下則不會出現(xiàn)這種情況。經證實，融合了多極和非反應性氣體的碰撞池技術，可有效降低多原子干擾。然而，動能上的偏差會導致靈敏度的喪失，所以在分析 ng/L 水平時，這是一個問題。反應模式是另一種技術，使用了反應氣體，如 NH3，其可選擇性地與多原子干擾發(fā)生反應，搭配四級桿質量篩選器使用可以創(chuàng)造動態(tài)帶通，防止生成不必要的離子副產物，進而有效消除多原子干擾，同時又不影響分析物的信號。
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