冠乾科技（上海）有限公司
薄膜材料的納米力學(xué)測(cè)試解決方案
檢測(cè)樣品：硅基上超薄薄膜
檢測(cè)項(xiàng)目：彈性模量
方案概述：布魯克TI系列納米材料機(jī)械性能，壓痕，劃痕，摩擦磨損具有精度很高，結(jié)合原位AFM功能，可獲得準(zhǔn)確數(shù)據(jù)，排除環(huán)境因素，底材因素。
通過(guò)研發(fā)的 xProbe超低噪音傳感探頭，可以獲得超薄涂層<10nm薄膜的機(jī)械性能。避免底材的受到機(jī)械力產(chǎn)生的形變數(shù)據(jù)影響。
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