化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計流速儀/測漏儀>質(zhì)量流量計>SEC-Z512/514//522/524 HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器
SEC-Z512/514//522/524 HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器
| 參考價 | ￥ 18000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 曦源科學儀器（上海）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 SEC-Z512/514//522/524
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/4/21 15:24:05
- 訪問次數(shù) 232
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 | 控制范圍 | 10 SCCM ～ 500 SLM（以氮氣 N? 為基準） |
| 支持氣體 | 多種氣體（支持用戶自定義設(shè)置） | 控制精度 | ±1.0% S.P. |
| 響應(yīng)時間 | ≤ 1 秒 | 通信接口 | 模擬（0-5 V / 4-20 mA）、數(shù)字、DeviceNet?、EtherCAT? |
SEC-Z512/514//522/524 HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），集成多氣體/多量程功能，具備出色的精度、響應(yīng)速度和穩(wěn)定性，廣泛應(yīng)用于半導體、光伏、光纖制造等高要求工業(yè)過程控制場景。
產(chǎn)品特點
寬流量控制范圍
控制范圍覆蓋 10 SCCM ～ 500 SLM，適配各種氣體和工藝需求。高控制精度
控制精度高達 ±1.0% S.P.，裝配“可變 PID 系統(tǒng)”，可在任意兩個設(shè)定點之間實現(xiàn) 1 秒響應(yīng)。多種通訊接口
支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出，便于系統(tǒng)集成。多供電及密封選項
支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電，提供橡膠密封或金屬密封可選，適應(yīng)不同使用環(huán)境。優(yōu)異的長期穩(wěn)定性與耐久性
高可靠性設(shè)計，適應(yīng)嚴苛工業(yè)環(huán)境，減少維護頻次。
技術(shù)規(guī)格
適用場景
半導體制造：CVD、Etching、Oxidation、Diffusion 等工藝氣體精密控制
光伏與光電子制造
光纖預(yù)制棒與拉絲過程控制
精密材料薄膜沉積（PVD/CVD）
化學氣相反應(yīng)與配比混氣控制
大氣/真空環(huán)境下的實驗室測試設(shè)備
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