特點：

★ 真空度讀顯功能，集成化一體設計

★ 結構緊湊，體積小，便于放置搬運

★ 系統(tǒng)內(nèi)置破空電磁閥

★ 極限真空度10^-8mbar

★ 即插即用式設計可實現(xiàn)簡單的一鍵式操作

用途：

分子泵組主要用于真空鍍膜、半導體、電子、加速器技術、等離子體技術、物理化學實驗室，電真空器件制造及真空的各個領域?？膳浜辖湹恼婵仗结樑_、真空封管機等需要真空環(huán)境的設備一同使用。

分子泵組產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)：

儀器使用維護與故障診斷

在安裝、操作儀器時應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發(fā)生故障或異常異音。

儀器的使用和維護

n儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。

n儀器運輸應使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。

n使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干凈，以免灰塵將機械精密部件、光學部件、電學接觸面污染，導致儀器精度降低。

n儀器機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可，不可用硬物接觸機器，以免發(fā)生故障或危險。

n儀器顯示器部件清潔時，可用鏡頭紙蘸不含水酒精從中間向外輕輕的擦拭。不含水酒精是易燃物，注意使用安全。

n停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。

n操作人員必須嚴格按要求操作，以保證數(shù)據(jù)的準確和儀器的正常使用。

常見故障的排除

   當您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。