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二維材料轉移臺

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艾博納微納米科技(江蘇)有限公司致力于科研器材的研發(fā)與生產,以國際科研單位力量為支點,凝聚社會力量共同謀求推動全“人類科學發(fā)展與進步”。艾博納微納米科技(江蘇)有限公司創(chuàng)立于中國江蘇,用戶群體分布于世界各國以及國內大陸大部分地區(qū)。公司主營業(yè)務有物理科研器材、二維材料轉移裝置、二維材料微納加工設備、微納米光學系統(tǒng)包括遠場以及近場全波段光學顯微系統(tǒng)研發(fā)、國產原子力顯微鏡、耗材(包含氮化硼國產高質量生長等各種晶體、硅片、超干凈藍膜膠帶等)、其他二維材料制備相關設備如等離子處理儀、顯像設備等。所有經由我司售賣的產品均享受售后保障,用戶可放心購買。

 

 

探針臺,二維材料轉移臺,金相顯微鏡,步進電機,步進電機控制器,原子力顯微鏡,拉曼光譜儀

產地類別 國產 產品種類 電動
價格區(qū)間 2千-4千 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產業(yè),電子/電池,電氣,綜合

二維材料轉移臺不僅是實驗室中的“精密之手”,更是連接基礎研究與產業(yè)應用的橋梁。隨著自動化、智能化技術的融入,二維材料轉移正從“藝術級操作”邁向標準化制造。未來,這一技術或將催生新一代柔性電子、量子計算和能源器件,材料科學的又一次革命。

二維材料(如石墨烯、二硫化鉬、六方氮化硼等)因其的電子、光學和機械性質,成為納米科技與量子器件的核心材料。然而,這類材料厚度僅原子層級(0.3~1 nm),且易受污染和損傷,如何將其從生長基板(如銅箔、SiO?/Si)無損轉移至目標基板(如柔性襯底、器件電極),是科研與產業(yè)化的關鍵挑戰(zhàn)。二維材料轉移臺正是為此設計的精密設備,集成了微機械操作、光學對準和化學處理功能,成為二維材料研究的“幕后推手”。本文從原理、技術、應用及未來趨勢全面解析這一關鍵工具。
二維材料轉移的核心原理
轉移方法分類
濕法轉移:
步驟:在生長基板上旋涂聚合物支撐層(如PMMA)→ 化學蝕刻基板(如FeCl?蝕刻銅)→ 轉移至目標基板→ 溶解聚合物。
優(yōu)勢:適用大面積轉移,成本低。
缺點:易引入雜質(殘留聚合物)、產生褶皺。
干法轉移:
步驟:利用粘性薄膜(如PDMS)直接剝離材料→ 通過精密對準貼合至目標基板。
優(yōu)勢:無化學殘留,適合潔凈轉移。
缺點:對機械操作精度要求,易撕裂材料。
范德瓦爾斯轉移:
原理:利用材料間范德華力直接堆疊,無需粘合劑,常用于制備異質結(如石墨烯/hBN)。
轉移臺的三大核心模塊
顯微成像系統(tǒng):高分辨率光學顯微鏡(或共聚焦顯微鏡),實時觀察材料形貌與對準過程。
精密機械平臺:納米級位移步進電機(精度<100 nm)或壓電陶瓷驅動器,控制樣品臺XYZ軸移動及角度旋轉。
環(huán)境控制單元:
溫度控制:加熱臺(20~150°C)調節(jié)粘附力。
真空/惰性氣體腔:防止氧化與污染(如通入N?或Ar)。
標準化操作流程
樣品準備
生長基板處理:清潔銅箔或SiO?/Si表面,確保無顆粒污染。
聚合物涂覆:旋涂PMMA(3000 rpm,60秒)形成均勻支撐層。
基板蝕刻(濕法)
蝕刻液選擇:
銅箔:FeCl?溶液(1 mol/L)或(NH?)?S?O?。
SiO?:氫氟酸(HF)緩沖液。
漂浮轉移:將PMMA/二維材料薄膜漂浮于去離子水面,用目標基板撈起。
干法轉移操作
PDMS印章法:
將PDMS印章貼合至二維材料表面,緩慢剝離。
在顯微鏡下將PDMS/材料對準目標基板,加壓貼合(壓力~0.1 MPa)。
加熱(60~100°C)降低PDMS粘性,緩慢分離。
后處理
聚合物去除:丙酮浸泡溶解PMMA,異丙醇沖洗。
退火處理:真空退火(200~300°C)提升界面接觸,減少缺陷。
技術挑戰(zhàn)與解決方案
材料損傷控制
問題:機械應力導致裂紋、褶皺。
解決:采用彈性印章(如PDMS)并優(yōu)化剝離速度(<0.1 mm/s)。
污染與雜質
問題:PMMA殘留、環(huán)境顆粒吸附。
解決:超臨界CO?清洗(無表面張力)、潔凈室操作(Class 1000以下)。
對準精度
問題:異質結層間旋轉角度偏差(如石墨烯與hBN需對準<0.1°)。
解決:激光干涉儀輔助對準,軟件自動校正角度。
應用場景
電子器件
柔性晶體管:轉移石墨烯至PET襯底,制備可彎曲顯示屏驅動電路。
量子器件:hBN封裝二維材料(如MoS?),構建低噪聲量子點器件。
光電器件
光電探測器:WS?/石墨烯異質結實現(xiàn)超快光響應(ps級)。
超透鏡:轉移相位梯度超表面至玻璃,實現(xiàn)亞波長聚焦。
能源領域
催化電極:單層MoS?轉移至碳紙,提升析氫反應(HER)效率。
固態(tài)電池:二維電解質材料(如hBN)用于鋰金屬界面保護。
設備維護與優(yōu)化
日常維護
機械部件:定期潤滑線性導軌,校準電機位移精度(使用激光干涉儀)。
光學系統(tǒng):清潔物鏡與攝像頭,避免灰塵影響成像。
耗材更換:及時更換PDMS印章、PMMA溶液,防止老化影響轉移效果。
環(huán)境控制
濕度:維持40%~60% RH,防止靜電吸附顆粒。
振動隔離:使用氣浮隔振臺,抑制外界振動干擾(頻率<10 Hz)。
前沿技術與未來趨勢
全自動化轉移
機器視覺+AI:通過深度學習識別材料缺陷,自動規(guī)劃轉移路徑。
六軸機械臂:集成力反饋傳感器,實現(xiàn)微牛級壓力精準控制。
激光輔助轉移
選擇性剝離:飛秒激光局部加熱,實現(xiàn)圖案化轉移(如微米級電路)。
無接觸轉移:激光誘導向前轉移(LIFT)技術,避免機械接觸損傷。
二維材料異質結集成
范德瓦爾斯堆垛機:超高真空環(huán)境中逐層堆疊不同二維材料,制備復雜量子結構。
卷對卷(Roll-to-Roll)轉移
連續(xù)生產:開發(fā)柔性卷材轉移設備,推動二維材料產業(yè)化(如石墨烯觸摸屏量產)。




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