Gasboard-2060 紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 四方光電(武漢)儀器有限公司
- 品牌 四方儀器
- 型號 Gasboard-2060
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/5/27 10:45:11
- 訪問次數(shù) 947
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應用領域 | 化工,能源 |
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產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號:Gasboard-2060
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
(1)使用NDIR技術,多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
(2)響應時間快,高靈敏度
(3)無耗材
(4)模擬/數(shù)字通信
(5)模塊化設計,便于集成
紅外氣體傳感器技術參數(shù)
檢測原理 | NDIR |
檢測氣體 | SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
重復性 | ±0.5% |
線性 | ±1%F.S. |
檢測限 | 1ppm |
應用領域
半導體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測