化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)>PS4/PS8 Prober Shuttle PS8
PS4/PS8 Prober Shuttle PS8
- 公司名稱(chēng) 上海溪拓科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 德國(guó)Kleindiek
- 型號(hào) PS4/PS8
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/1/16 15:49:04
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 591
探針臺(tái)EBIC/EBACnanoprobing半導(dǎo)體器件電學(xué)性能表征iv 曲線(xiàn)
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Kleindiek微納米操縱儀，Kleindiek Nanoprobing系統(tǒng)，Rumed蛋白結(jié)晶生長(zhǎng)箱，Trikinetics 果蠅行為監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，MRC 核磁兼容相機(jī)，MRC Pinprick痛覺(jué)刺激器，英國(guó)BFK 果蠅視頻監(jiān)控系統(tǒng)，
Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達(dá)八個(gè)MM4 微機(jī)械手以及一個(gè)三軸子平臺(tái)。27 個(gè)軸中的每個(gè)軸都能以JI高的精度進(jìn)行定位。探針的 Z 驅(qū)動(dòng)向上擺動(dòng) 90°，便于接近樣品，也便于快速更換針尖。
每個(gè)微型MM4機(jī)械手都配備了用于低電流測(cè)量套件。整個(gè)平臺(tái)可通過(guò)一個(gè) 6" Load Lock進(jìn)入掃描電鏡或掃描電鏡/FIB 的真空室。
Prober Shuttle PS8,還配有高級(jí)探測(cè)工具套件（可選），可為Probing探測(cè)應(yīng)用提供大量附加功能?？捎糜诎雽?dǎo)體材料，器件，結(jié)構(gòu)等電學(xué)性能分析。
系統(tǒng)特點(diǎn)
所有空氣側(cè)硬件均安裝在 19 英寸機(jī)架上
電子設(shè)備機(jī)架位于操作員視線(xiàn)之外
通過(guò) APT UI 控制整個(gè)系統(tǒng)
從法蘭到機(jī)架的整潔電纜管理
針對(duì)電路編輯應(yīng)用的 FIB 傾斜探測(cè)
非磁性設(shè)計(jì)
可用于5納米及更高
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