簡介

Jordan Valley公司新設(shè)計的Delta-X是多功能的X射線衍射設(shè)備，可靈活應(yīng)用于材料科學(xué)研究、工藝開發(fā)、與生產(chǎn)質(zhì)量控制。Delta-X衍射儀的光源臺和探測臺的光學(xué)元件可以自動化調(diào)控，并采用水平式樣品臺。Delta-X衍射儀可以在常規(guī)衍射模式、高分辨率衍射模式、X射線反射模式之間靈活切換。光學(xué)配置的切換完在菜單式程序控制下由計算機完成，無需手動操作。自動化切換和準(zhǔn)直不需要專門人員和操作設(shè)備，并確保每次切換都能達到好的光學(xué)準(zhǔn)直狀態(tài)。

常規(guī)的樣品測量可以通過Delta-X衍射儀，實現(xiàn)部分、乃至完的自動化運行，自動化測量程序可以依客戶需求進行專門定制。也可采用完的手動模式操作Delta-X衍射儀，以便發(fā)展新測量方法，研究新材料體系。

數(shù)據(jù)分析或擬合可以作為測量程序的一部分，可實現(xiàn)自動化，也可依據(jù)需要單獨進行數(shù)據(jù)分析。 依半導(dǎo)體生產(chǎn)線的需求，將RADS和REFS擬合軟件以自動化模式運行，允許在沒有用戶干擾的情況下自動完成常規(guī)性的數(shù)據(jù)分析，并直接完成數(shù)據(jù)擬合和結(jié)果輸出。RADS和REFS也可以單獨安裝，以便進行更詳細(xì)的數(shù)據(jù)分析。

Delta-X衍射儀能滿足科學(xué)研究所和技

術(shù)開發(fā)中心 不同材料體系的方位測試

需求。

Delta-X 衍射儀的主要特點和優(yōu)勢

n 自動化進行樣品準(zhǔn)直、測試、和數(shù)據(jù)分析

n 客戶可以自行設(shè)定測量的自動化程度

n 300mm的歐拉環(huán)支架(Eulerian Cradle)設(shè)計，高精度的樣品定位和掃描

n 300mm的晶片水平式放置，且可以完整mapping

n 100º的Chi軸傾轉(zhuǎn)范圍、無限制范圍的Phi軸旋轉(zhuǎn)空間，可實現(xiàn)極圖和殘余應(yīng)力測試

n 智能化的光學(xué)配置切換和準(zhǔn)直。依測量需要，自動選擇光學(xué)配置并實施光學(xué)準(zhǔn)直

n 工業(yè)界先的設(shè)備控制軟件和數(shù)據(jù)分析軟件

n 高分辨率測角儀，以保證精密且準(zhǔn)確的測量

n 高強度的光源臺設(shè)計和光學(xué)元件組合，以實現(xiàn)快速測量

n 多方面廣泛的測試技術(shù)和測量參數(shù)

n 由擁有超過30年的高分辨率X射線衍射經(jīng)驗的世jie級專家設(shè)計、制造，具有球客戶經(jīng)驗。

Delta-X衍射儀的特點和優(yōu)勢

自動化控制的光學(xué)系統(tǒng):

Delta-X衍射儀的入射束包括多種標(biāo)準(zhǔn)的光學(xué)配置模式，以便使光學(xué)配置具有充分的靈活性，且易于操作?？梢砸罁?jù)測量樣品的材料類型，選擇參考晶體。

n 標(biāo)準(zhǔn)模式：用于所有系統(tǒng)，平行束多層膜高反鏡

n 其他四種光學(xué)系統(tǒng)可以選擇和安裝：

n Bragg-Brentano鏡 (Johannson光學(xué)元件)

n Bragg-Brentano鏡 (Johannson光學(xué)元件)和一個參考晶體(二次反射)

n 兩個獨立的參考晶體(二次反射)：參考晶體的材料類型和分辨率有多種設(shè)計供選擇，以便提供與測量     匹配的分辨率。

n 兩個參考晶體，以Bartels模式安裝

n 參考晶體和高反鏡均可自動化切換

n 不需要將參考晶體和高反鏡手動移出衍射儀，保證光學(xué)元件不被損壞、不偏離準(zhǔn)直狀態(tài)。

n 衍射儀的初始準(zhǔn)直易于操作，安 可靠，無需在設(shè)備內(nèi)開啟X射線操作。