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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設(shè)備>濕法清洗設(shè)備>FPESI-E3511 晶圓灰化系統(tǒng)

FPESI-E3511 晶圓灰化系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 FPESI-E3511
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/4/25 10:09:06
  • 訪問次數(shù) 404

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


孚光精儀是進口精密儀器和實驗室儀器設(shè)備供應商,是*基于激光和成像等光子技術(shù)分析測試儀器的規(guī)模性進口商和代理商,服務商。
孚光精儀公司以精密光學技術(shù)為特色,以光學應用為宗旨,以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測試儀器產(chǎn)品,促進光學技術(shù)產(chǎn)品在中國的應用和相關(guān)技術(shù)水平提升。

21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術(shù)極大地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發(fā)展和技術(shù)提升,成為前沿科學和先進制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術(shù)。


孚光精儀公司就是這樣一個以光學為特色的進口儀器和實驗室設(shè)備公司,擁有齊全的進口精密(光學)儀器種類,龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術(shù)儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction,

光:光學/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學,致力于光學精密儀器事業(yè)。


公司價值
孚光精儀-精通光學,服務科學

經(jīng)驗豐富的激光和光學技術(shù)工程師幫助用戶出具方案,確認適合應用的精密

光學儀器和科學儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進口體驗。
以豐富的進口操作經(jīng)驗和電子商務管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務!
齊全的光學種類
涵蓋了所有光學和激光技術(shù)應用領(lǐng)域和相關(guān)儀器

熒光光學成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學儀器)

分子生物學

光學儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

醫(yī)用

光學儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術(shù)的粒度和濃度

測試儀器

光學成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學光學診斷技術(shù)和儀器 (基于激光和成像技術(shù),融合光譜分析技術(shù)組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

無損光學檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學內(nèi)窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學顯微鏡

通用

實驗室儀器和設(shè)備(包含所有涉及光學技術(shù)的實驗儀器)

服務和應用領(lǐng)域

生物光子學

生命科學

醫(yī)學成像

制藥

食品工程

化學和化工

 

實驗室儀器實驗室建設(shè)

流體力學

工程熱物理

燃燒診斷分析

發(fā)動機研發(fā)

航空航天

地球物理科學

地質(zhì)和石油勘探


半導體和微電子

 

 

 

 

 

先進制造

新能源

材料科學

儀器科學與技術(shù)

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客戶群體
     
高等院校

*系統(tǒng)研究院所

中國國有企業(yè)及其研究院所

外資企業(yè)


高效的服務體系
總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉庫,在香港設(shè)立貿(mào)易公司,擁有遍布全國的代理商,供應商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢國家和地區(qū)。
公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進口程序,為客戶提供高效技術(shù)儀器進口服務,為制造商提供高效出口服務。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報關(guān),進出口等高貿(mào)易資質(zhì),為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進口服務,幫助出口商/制造商完成清關(guān)服務,并送貨到用戶地址。

 

外方經(jīng)理定期來華辦公指導                                             工作園區(qū)一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務和質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽*的*產(chǎn)品和服務供應商。國內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購各種產(chǎn)品。如:
*上海光機所

*西安光機所

*安徽光機所

*長春光機所

*合肥物質(zhì)研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術(shù)研究所
中國電子集團公司53

清華大學

北京大學

中國科技大學


哈爾濱工業(yè)大學
山東大學
武漢大學
南開大學

天津大學


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飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

晶圓灰化系統(tǒng)是為晶圓ashing設(shè)計的晶圓灰化機,wafer ashing,廣泛用于本體抗蝕劑,LDI后抗蝕劑,聚合物去除。
晶圓灰化系統(tǒng)主要應用
去除本體抗蝕劑、LDI后抗蝕劑條、聚合物去除
Descum處理
表面處理可提高Dep附著力
高劑量植入后條
氧化
各向同性蝕刻
MEMS應用
晶圓灰化系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
基板尺寸100-200 mm
光刻膠條典型吞吐量60 WPH
灰分率<200?-≥3.5μm/zui小。
晶片內(nèi)的均勻性2%-5%
晶圓灰化系統(tǒng)特點
真正的向下微波等離子體工藝(距離產(chǎn)品24英寸)
工藝和腔室與Gasonics L3510完quan兼容
臺板溫度增強范圍從60到350攝氏度
增強型IDX Flexware®軟件控制
帶Slice I/O模塊的嵌入式Intel®i7多核PC
用于壓力控制的以太網(wǎng)智能控制器,機器人
和氣體流量控制(MFC)
閃存驅(qū)動器數(shù)據(jù)存儲和配方/數(shù)據(jù)的USB備份
符合SECS/GEM,HSMS標準
易于使用、可配置的顯示器
易于查看的17英寸觸摸屏
內(nèi)置看門狗定時器,確保安全操作
電源和數(shù)字I/O的LED狀態(tài)
燈和臺板加熱器的固態(tài)控制器
新型Hatm-5取放機器人
1.2kw微波功率
燈輔助處理,實現(xiàn)*hao的均勻性和*高的灰化率




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