中圖儀器SJ6000激光干涉測量系統(tǒng)也就是激光干涉儀，是一種利用光的干涉原理來測量物體長度、厚度、形狀、折射率等參數(shù)的儀器。它具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于工程和科研領(lǐng)域。在工程領(lǐng)域，它可以用于測量材料變形、振動、熱膨脹等力學特性；在科研領(lǐng)域，可以用于光學元件表面形貌、復(fù)雜形狀的物體三維形貌和運動學研究等。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線性測量配置及使用方法

線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。

水平軸的線性測量示意圖

垂直軸的線性測量示意圖

SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

線性測量中目標位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標采集和基于時間的目標采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標采集方式，即：被測運動軸需設(shè)定若干個等距的定位點，當運動軸移動到設(shè)定的定位點時，需設(shè)置停留時間，以供SJ6000測量軟件進行當前點的數(shù)據(jù)采集。

線性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機床、三坐標、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。

傳感器線性精度測量

測量線性精度

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）SJ6000激光干涉測量系統(tǒng)具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。

技術(shù)規(guī)格

注意事項：

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量