主動(dòng)隔振平臺(tái)概述

STACIS® III是一種靈活主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS主動(dòng)隔振平臺(tái)系統(tǒng)采用*的慣性振動(dòng)傳感器、*的控制算法和壓電致動(dòng)器，通過(guò)連續(xù)測(cè)量地面活動(dòng)，然后擴(kuò)展和收縮壓電致動(dòng)器來(lái)過(guò)濾地面運(yùn)動(dòng)，以實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。

STACIS**初設(shè)計(jì)用于隔離*半導(dǎo)體工廠(chǎng)中的精密微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備，現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導(dǎo)體工廠(chǎng)、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心）中**敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

STACIS III主動(dòng)隔振平臺(tái)系統(tǒng)包括一個(gè)全新的改進(jìn)型數(shù)字控制器DC-2020。這款全新的**控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶(hù)提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶(hù)界面（GUI）。STACIS在已擁有數(shù)百個(gè)成功的安裝案例，是理想的隔振系統(tǒng)，適用于對(duì)振動(dòng)**為敏感的儀器。

主動(dòng)隔振平臺(tái)系統(tǒng)STACIS III的優(yōu)勢(shì)

STACIS比空氣隔振器硬數(shù)百倍，沒(méi)有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒(méi)有“軟”懸架，與主動(dòng)空氣系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔振系統(tǒng)的工具下方，使兩個(gè)系統(tǒng)都在**狀態(tài)下運(yùn)行。

的串行設(shè)計(jì)和專(zhuān)有的高力壓電技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz***150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開(kāi)始減振90％的**主動(dòng)隔振性能。

主動(dòng)隔振平臺(tái)系統(tǒng)STACIS III特征

? **新改進(jìn)型DC-2020數(shù)字控制器，提供易于使用的圖形用戶(hù)界面

? 隔振開(kāi)始于0.6赫茲，1Hz時(shí)達(dá)到40％***70％的隔離率

? 頻率2赫茲和更高時(shí)，垂直和水平隔振率大于90％

? 降低基礎(chǔ)設(shè)施的要求和建設(shè)成本，即使有較大外界震動(dòng)設(shè)備也可正常運(yùn)行

? 有效隔振范圍，0.6Hz到150Hz

? 獲得眾多用戶(hù)的廣泛認(rèn)可和肯定

? 6向自由度硬安裝設(shè)計(jì)，無(wú)需空氣懸架

? 強(qiáng)大的控制系統(tǒng)無(wú)需定期重新校準(zhǔn)

? point-of-use設(shè)計(jì)方案，與客戶(hù)現(xiàn)有隔振系統(tǒng)無(wú)縫兼容

? 隨著外部環(huán)境改變，系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)以適應(yīng)不同外部震動(dòng)情形

? TMC的STACIS®技術(shù)使用壓電執(zhí)行器主動(dòng)消振

? 數(shù)字控制器與基于PC的圖形用戶(hù)界面（GUI）

? 提高客戶(hù)產(chǎn)品產(chǎn)量、質(zhì)量、成品率。

? 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

? **寬的主動(dòng)隔振帶寬，**的低頻隔振效果

? 亞赫茲的主動(dòng)震動(dòng)消除，**主要在0.6-6Hz頻段內(nèi)的隔振

? 可堆疊式設(shè)計(jì)

? 主動(dòng)硬式安裝結(jié)構(gòu)、而非軟式懸浮、無(wú)低頻漂移、主動(dòng)元件與剛性彈簧相連

? 被動(dòng)彈簧濾除了來(lái)自STACIS傳感器的負(fù)載諧振，需要的調(diào)諧非常少，甚***無(wú)需調(diào)諧

? 由于阻抗不匹配，可兼容儀器內(nèi)部隔離器

? 負(fù)載可達(dá)2000kg

? 市場(chǎng)上**的主動(dòng)隔振系統(tǒng)

主動(dòng)隔振平臺(tái)性能

使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模擬振動(dòng)來(lái)測(cè)試4500磅（2045千克）有效載荷

主動(dòng)隔振平臺(tái)規(guī)格

性能規(guī)格

STACIS用戶(hù)及應(yīng)用領(lǐng)域

1、微電子、半導(dǎo)體

? 晶片檢測(cè)

? 顯微光刻技術(shù)

? 掩膜校準(zhǔn)

2、科學(xué)研究、納米技術(shù)

? SEM、TEM

? STEM、SPM

3、激光臺(tái)

? 生命科學(xué)、藥物研發(fā)

4、工業(yè)應(yīng)用

? 精密加工

為什么要選擇主動(dòng)隔振系統(tǒng)？

? 從<1Hz開(kāi)始強(qiáng)烈消除地面震動(dòng)，氣動(dòng)平臺(tái)在這一低頻處無(wú)法起到有效的隔振

? 提高質(zhì)量、生產(chǎn)量

? 更加細(xì)小特色的成像能力

? 前沿研究

? 比氣動(dòng)平臺(tái)更穩(wěn)定

? 滿(mǎn)足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點(diǎn)安裝參數(shù)的**解決方案

? 使得新實(shí)驗(yàn)室及研究設(shè)備的工程造價(jià)更低

主動(dòng)隔振系統(tǒng)為何選擇STACIS

? 正中了科研者的的心聲，提供了盡可能**的無(wú)震環(huán)境。

? 市場(chǎng)上**強(qiáng)勁的低頻隔振系統(tǒng)。

? 目前所有的SEM廠(chǎng)商都公布了安裝參數(shù)要求，其需要的震動(dòng)參數(shù)需要主動(dòng)隔振系統(tǒng)才能滿(mǎn)足。

? STACIS**發(fā)明于1990s，經(jīng)TMC進(jìn)一步發(fā)展，開(kāi)發(fā)和安裝了數(shù)以千計(jì)的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，這是主動(dòng)隔振控制領(lǐng)域的提供的可靠解決方案。

STACIS相比氣動(dòng)隔離器剛性大幾百倍

穩(wěn)定時(shí)間作為對(duì)擾動(dòng)的響應(yīng)，由于的串聯(lián)式設(shè)計(jì)，而大大縮短，理想應(yīng)用于機(jī)械制造、動(dòng)態(tài)負(fù)載、激光或者光源需要安裝的獨(dú)立剛性臺(tái)面的情況下。

如下優(yōu)勢(shì)在業(yè)內(nèi)都是**的

? STACIS的主動(dòng)隔振帶寬為0.6Hz -150Hz

? 6個(gè)自由度的主動(dòng)震動(dòng)消除，在1Hz時(shí)隔振8-10dB 

? 從2-3Hz時(shí)，隔振可達(dá)90% (20dB) 

專(zhuān)業(yè)的環(huán)境調(diào)查

1、安裝前后的環(huán)境調(diào)查，包括震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波

2、安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系認(rèn)證

? 完善的環(huán)境調(diào)查服務(wù)

? 開(kāi)具專(zhuān)業(yè)環(huán)境報(bào)告

? 提供震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波檢測(cè)及解決方案

? TMC基于其廣泛經(jīng)驗(yàn)向用戶(hù)推薦實(shí)用性方案 

? 40多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，業(yè)內(nèi)的**

應(yīng)用照片