三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司是一家專注于精密運動控制技術(shù)和產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于為科學(xué)研究、創(chuàng)新研發(fā)及精密儀器、設(shè)備的制造等提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案與集成，滿足市場對精密運動控制技術(shù)需求的專業(yè)制造商。

公司核心技術(shù)集精密傳感、精密驅(qū)動、精密機械、精密控制、精密集成等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體，綜合技術(shù)指標已達到*水平。

主要產(chǎn)品：納米級運動平臺系列；微米級宏動系列；納米位移電容傳感器系列；宏微運動集成系統(tǒng)

納米定位平臺

納米運動控制技術(shù)是由光、機、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運動控制技術(shù)。內(nèi)部由一個或多個壓電陶瓷作為驅(qū)動，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運動；通過柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運動傳遞和放大；經(jīng)超精密電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對該運動進行修正、補償和控制；在對運動系統(tǒng)進行閉環(huán)控制時，可實現(xiàn)納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。

三英精控納米臺特點
平：得益于*的硬件設(shè)計，有效地減少三維偶聯(lián)影響，保證納米臺全行程的平整度。

準：電容傳感器的應(yīng)用及*的控制模式和算法，保證納米臺的運動精度。

穩(wěn)：優(yōu)異的機械結(jié)構(gòu)設(shè)計以及優(yōu)良的電容傳感器特性，保證了納米臺長時間的穩(wěn)定性。

NS-Z100-01重載Z軸物鏡定位臺

典型應(yīng)用：

顯微成像

晶圓切割

微電子精密加工

物鏡調(diào)焦及掃描

可更換不同的物鏡接口

技術(shù)參數(shù)：

注：閉環(huán)分辨率與帶寬有關(guān)。

如有客戶需求，三英精控可以對納米位移運動控制系統(tǒng)進行量身定制，以提供及時、滿意的技術(shù)支持與服務(wù)。