納米操作機是一種可以在微納米尺度下與樣品或操作對象進行物理交互（如測量、移載、搬運等），并且可以在各種顯微鏡（光學(xué)顯微鏡、SEM、FIB）內(nèi)進行各種物理量測量（如電學(xué)、力學(xué)、光學(xué)等）的精密儀器。該系統(tǒng)全部由Nators公司自主開發(fā)的模塊化部件組成，可根據(jù)用戶需求提供定制化解決方案。

產(chǎn)品特性:

• 閉環(huán)運動控制，具有數(shù)十毫米運動行程和納米級運動分辨率

• 低漂移，高重復(fù)定位精度

• 結(jié)構(gòu)緊湊、體積小，適配市面上大部分顯微鏡平臺

• 模塊化設(shè)計，可根據(jù)用戶需求提供定制化服務(wù)

納米操作機產(chǎn)品應(yīng)用:

• 微納操作與微裝配

• 半導(dǎo)體納米芯片電學(xué)探測

• 材料納米力學(xué)測量（納米壓痕、彎曲、拉伸測試）

• 光電材料等原位光誘導(dǎo)或原位性能測量

• MEMS器件測試

規(guī)格參數(shù):