沃特塞恩提供的固態(tài)微波遠(yuǎn)程等離子體源系統(tǒng)引進(jìn)了德國前端的等離子體技術(shù)，主要由等離子體放電腔、高效率固態(tài)微波源、微波傳輸及調(diào)配器組成。

因固態(tài)微波遠(yuǎn)程等離子體源的特殊結(jié)構(gòu)，等離子體在反應(yīng)區(qū)之外的等離子體放電腔中被激發(fā)，在保證高電離率與低重組率的同時(shí)，為用戶提供高濃度、低溫度、更均勻的活性自由基。有效的降低了電子、離子等高能活性離子對(duì)材料表面的轟擊損傷，活性自由基對(duì)樣品的作用占主導(dǎo)地位，有效控制反應(yīng)均勻性，減少污染，是干法處理半導(dǎo)體材料的更優(yōu)的方案。

產(chǎn)品特點(diǎn) 

> 采用全新LDMOS技術(shù)的固態(tài)微波源，頻率、功率穩(wěn)定性高，使用壽命長，無需更換磁控管耗材

> 等離子體放電腔材質(zhì)可選，可適用各種氣體

> 體積小、集成度高、便于更換

> *的放電腔設(shè)計(jì)，負(fù)載匹配度高，反射功率小，低于1%

> 系統(tǒng)運(yùn)行氣壓適應(yīng)范圍廣

> 電離率高、電離速度快